Vorstellung Wahlpflichtprofil: MECHATRONIK IM MASCHINENBAU ...
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<strong>Vorstellung</strong> <strong>Wahlpflichtprofil</strong>: <strong>MECHATRONIK</strong> <strong>IM</strong> <strong>MASCHINENBAU</strong><br />
Mikrobearbeitung mit Laserstrahlen im Maskenprojektionsverfahren<br />
Objektiv<br />
Maske<br />
Homogenisator<br />
PC-Steuerung<br />
Auflösungsvermögen des Objektivs bestimmt<br />
die Abmessungen der minimalen<br />
Bestrahlungsfläche: typisch: 0,5 – 5 µm<br />
Spezielle Fertigungsmethoden: Lasertechnik<br />
Laser<br />
Excimer-Laseranlage (Exitech)