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Vorstellung Wahlpflichtprofil: MECHATRONIK IM MASCHINENBAU ...

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<strong>Vorstellung</strong> <strong>Wahlpflichtprofil</strong>: <strong>MECHATRONIK</strong> <strong>IM</strong> <strong>MASCHINENBAU</strong><br />

Mikrobearbeitung mit Laserstrahlen im Maskenprojektionsverfahren<br />

Objektiv<br />

Maske<br />

Homogenisator<br />

PC-Steuerung<br />

Auflösungsvermögen des Objektivs bestimmt<br />

die Abmessungen der minimalen<br />

Bestrahlungsfläche: typisch: 0,5 – 5 µm<br />

Spezielle Fertigungsmethoden: Lasertechnik<br />

Laser<br />

Excimer-Laseranlage (Exitech)

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