Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...

4.2. Das SPA-LEED-System
nen auf den Fluoreszenzschirm beschleunigt. Bei dem Fluoreszenzschirm handelt es sich
um einen Phosphorschirm, welchem vier konzentrische Halbkugelgitter voran gehen. Dabei
bilden die beiden mittleren Gitter ein retardierendes Feld um Sekundärelektronen
abzufangen, auch Supressor genannt. Die anderen beiden Gitter sind geerdet und schirmen
den übrigen Raum gegen dieses Feld ab. Eine LEED-Steuerungseinheit ist mit den
beiden Anschlüssen des LEED-Systems verbunden. Über diese Einheit ist es möglich,
die Strahlenergie, den Filamentstrom, die Spannungen für das Linsensystem und den
Wehneltzylinder, sowie die Hochspannung für den Fluoreszenzschirm zu variieren.
4.1.4. Die Radiofrequenz(RF)-Plasmaquelle
Die Untersuchungen in dieser Arbeit wurden mit einer Uni-Bulb Plasmaquelle der Firma
Applied Epi durchgeführt. Die Plasmaquelle kann per Ventil von der Hauptkammer
getrennt und durch eine Turbomolekularpumpe separat gepumpt werden. Im Inneren der
Plasmaquelle befindet sich die aus pyrolitischem Bornitrid bestehende Plasmakammer,
welche von einer Wasserkühlung umgeben ist. Durch einen RF-Generator und eine Spule
um die Kammer wird das benötigte elektrische Feld erzeugt. Der Gaseinlass wird über
ein Dosierventil realisiert. Die durch das Plasma erzeugten Stickstoffatome treten durch
kleine Löcher in der Apertur am Ende der Plasmaquelle aus und werden durch die
Druckdifferenz zwischen Hauptkammer und Plasmaquelle auf das Substrat gelenkt. Die
Plasmaquelle ist so konzipiert, dass ca. 70 % atomarer Stickstoff, 25 -30 % N + 2 - und 0,1 %
N + -Ionen an der Lochapertur am Ende der Plasmaquelle austreten [74]. Während des
Betriebs betrug der Druck innerhalb der Hauptkammer etwa 5×10 −5 mbar.
4.2. Das SPA-LEED-System
In Abb. 4.2.1 ist das in dieser Arbeit genutzte SPA-LEED-UHV-System der Arbeitsgruppe
Oberflächenphysik des IFP zu sehen. Im Wesentlichen besteht die UHV-Anlage aus
einer kommerziellen, zylinderförmigen Hauptkammer aus Edelstahl. Durch ein Pumpensystem,
bestehend aus einer Vorpumpe, einer Turbomolekularpumpe, einer Ionen-Getter-
Pumpe und einer Titan-Sublimationspumpe, wird ein Basisdruck von ca. 1×10 −10 mbar
in der Hauptkammer ermöglicht. Der Probentransfer erfolgt unter Verwendung eines load
locks, welches separat durch eine Vorpumpe und eine Turbomolekularpumpe gepumpt
werden kann. Zwischen load lock und Hauptkammer, welche in einem rechten Winkel
zueinander angeordnet sind, ist ein Übergangsbereich montiert, welcher ein bewegliches
Probenregister beinhaltet. In diesem Register können bis zu fünf Proben aufbewahrt
und ausgegast werden. Zur Aufrechterhaltung des UHV in der Hauptkammer ist jeweils
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