Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...
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4. Experimentelle Details<br />
Die im Rahmen dieser Arbeit vorgestellten Ergebnisse wurden zum Großteil an<br />
kommerziell erhältlichen STM-, XPS-, LEED- <strong>und</strong> SPA-LEED-Systemen der Firma<br />
Omicron GmbH erzielt. Die drei erst genannten Systeme sind Komponenten einer<br />
Ultrahochvakuum(UHV)-Anlage, während eine weitere UHV-Anlage das SPA-LEED-<br />
System darstellt. Beide Anlagen sind Eigentum der AG Falta im Institut für Festkörperphysik<br />
(IFP) der Universität Bremen. In den folgenden Abschnitten werden die UHV-<br />
Anlagen <strong>und</strong> die einzelnen Messsysteme näher vorgestellt. Weiterhin umfasst dieses Kapitel<br />
nähere Informationen zu den ex-situ Messsystemen sowie detaillierte Informationen<br />
zu den Probenpräparationen.<br />
4.1. Das STM-, XPS-, LEED-System<br />
In Abbildung 4.1.1 ist die UHV-Anlage der AG Falta gezeigt. Die Erzeugung<br />
des UHV wird durch verschiedene Pumpensysteme gewährleistet, wozu eine Titan-<br />
Sublimationspumpe, eine Ionen-Getter-Pumpe <strong>und</strong> mehrere Turbomolekularpumpen<br />
zählen. Die Hauptanalysekammer stellt das Herzstück der UHV-Anlage dar. In dieser<br />
<strong>und</strong> in der näheren Peripherie werden alle experimentellen Untersuchungen durchgeführt.<br />
Seitlich an die Hauptkammer angeflanscht sind, neben den Verdampfern,<br />
das STM-System, das LEED-System sowie die Röntgenröhre des XPS-Systems. Die<br />
Radiofrequenz(rf)-Plasmaquelle <strong>und</strong> auch der hemisphärische Energieanalysator, welcher<br />
ebenfalls zum XPS-System gehört, sind von oben an die Hauptkammer angeflanscht.<br />
Über das im vorderen Teil der UHV-Anlage angeflanschte load lock erfolgt die Einspeisung<br />
der zu untersuchenden Proben. Hierbei handelt es sich um einen per Ventil von dem<br />
Rest der Anlage getrennten Vakuumbereich, welcher durch eine Turbomolekularpumpe<br />
evakuiert werden kann. An der Unterseite besitzt das load lock eine elektrische Kontaktierung,<br />
über die Proben bei Bedarf durch eine angelegte Spannung geheizt werden<br />
können. Über zwei orthogonal zueinander ausgerichtete Transferstäbe kann die Probe<br />
durch den Übergangsbereich in die Hauptkammer transferiert werden. Der Übergangsbereich<br />
wird durch eine Turbomolekularpumpe gepumpt <strong>und</strong> kann durch Ventile von<br />
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