Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...
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3. Materialsysteme<br />
3.1. Silizium<br />
Silizium gehört der IV. Hauptgruppe des<br />
Periodensystems der Elemente an <strong>und</strong><br />
ist nach Sauerstoff das häufigste Element<br />
der Erdkruste. In vielen Bereichen des<br />
täglichen Lebens, von Computersystemen<br />
über mobile Kommunikation, finden sich<br />
kombinierte siliziumbasierte Technologi-<br />
a<br />
en. Deshalb ist Silizium als gr<strong>und</strong>legender 0<br />
Baustein aus kommerziellen Anwendungen<br />
nicht mehr wegzudenken. Diese bedeutende<br />
Stellung verdankt Silizium einer<br />
Reihe besonderer Eigenschaften.<br />
Silizium ist ein indirekter Halbleiter mit<br />
einer Bandlücke von etwa 1,1 eV. Weiter- Abb. 3.1.1: Modell der räumlichen Elementarzelle<br />
hin ist es unter Normalbedingungen rela- des Siliziums.<br />
tiv inert <strong>und</strong> wird lediglich von Hydroxidionen<br />
in basischer Lösung angegriffen. Es kann aber beispielsweise thermisch sehr leicht<br />
oxidiert werden <strong>und</strong> bildet ein stabiles Oxid (SiO2), was z.B. Anwendungen als qualitativ<br />
hochwertiges Gate-Oxid-Material zulässt. Aber auch amorphes Silizium findet heute<br />
noch Anwendung in Photovoltaik. Im Gegensatz dazu wird in der Mikroelektronik polykristallines<br />
<strong>und</strong> zumeist einkristallines Silizium in hochreiner Form benötigt. Kristallines<br />
Silizium weist eine Diamantstruktur <strong>auf</strong> (siehe Abb. 3.1.1). Dies ist eine Struktur der kubischen<br />
Klasse, die aus zwei fcc-Untergittern gebildet wird, wobei das eine um [ 1 1 1<br />
4 4 4 ]·a0<br />
gegenüber dem anderen verschoben ist. Jedes Siliziumatom eines Untergitters weist somit<br />
vier nächste Nachbarn aus dem anderen Untergitter <strong>auf</strong>. Eine sp3-Hybridisierung der Orbitale, welche zur Ausbildung einer tetraedrischen Bindungsgeometrie führt, ermöglicht<br />
diese Struktur.<br />
In Abb. 3.1.2 (a) ist die Gitterstruktur, bezogen <strong>auf</strong> die [100]-Richtung, dargestellt.<br />
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