29.12.2012 Aufrufe

Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...

Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...

Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...

MEHR ANZEIGEN
WENIGER ANZEIGEN

Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.

3. Materialsysteme<br />

3.1. Silizium<br />

Silizium gehört der IV. Hauptgruppe des<br />

Periodensystems der Elemente an <strong>und</strong><br />

ist nach Sauerstoff das häufigste Element<br />

der Erdkruste. In vielen Bereichen des<br />

täglichen Lebens, von Computersystemen<br />

über mobile Kommunikation, finden sich<br />

kombinierte siliziumbasierte Technologi-<br />

a<br />

en. Deshalb ist Silizium als gr<strong>und</strong>legender 0<br />

Baustein aus kommerziellen Anwendungen<br />

nicht mehr wegzudenken. Diese bedeutende<br />

Stellung verdankt Silizium einer<br />

Reihe besonderer Eigenschaften.<br />

Silizium ist ein indirekter Halbleiter mit<br />

einer Bandlücke von etwa 1,1 eV. Weiter- Abb. 3.1.1: Modell der räumlichen Elementarzelle<br />

hin ist es unter Normalbedingungen rela- des Siliziums.<br />

tiv inert <strong>und</strong> wird lediglich von Hydroxidionen<br />

in basischer Lösung angegriffen. Es kann aber beispielsweise thermisch sehr leicht<br />

oxidiert werden <strong>und</strong> bildet ein stabiles Oxid (SiO2), was z.B. Anwendungen als qualitativ<br />

hochwertiges Gate-Oxid-Material zulässt. Aber auch amorphes Silizium findet heute<br />

noch Anwendung in Photovoltaik. Im Gegensatz dazu wird in der Mikroelektronik polykristallines<br />

<strong>und</strong> zumeist einkristallines Silizium in hochreiner Form benötigt. Kristallines<br />

Silizium weist eine Diamantstruktur <strong>auf</strong> (siehe Abb. 3.1.1). Dies ist eine Struktur der kubischen<br />

Klasse, die aus zwei fcc-Untergittern gebildet wird, wobei das eine um [ 1 1 1<br />

4 4 4 ]·a0<br />

gegenüber dem anderen verschoben ist. Jedes Siliziumatom eines Untergitters weist somit<br />

vier nächste Nachbarn aus dem anderen Untergitter <strong>auf</strong>. Eine sp3-Hybridisierung der Orbitale, welche zur Ausbildung einer tetraedrischen Bindungsgeometrie führt, ermöglicht<br />

diese Struktur.<br />

In Abb. 3.1.2 (a) ist die Gitterstruktur, bezogen <strong>auf</strong> die [100]-Richtung, dargestellt.<br />

27

Hurra! Ihre Datei wurde hochgeladen und ist bereit für die Veröffentlichung.

Erfolgreich gespeichert!

Leider ist etwas schief gelaufen!