Wachstum und Charakterisierung dünner PTCDA-Filme auf ...

6.4. Reinigung von GaN(2110)-Oberflächen
Wie schon bei der Reinigung mit Gallium-
Deposition/Desorption wurde auch bei der Plasmaunterstützen
Reinigungsmethode der Effekt auf die
Morphologie und Struktur untersucht. In Abb. 6.4.7
sind STM-Bilder vor Reinigungsbeginn und nach
abgeschlossener Reinigung gezeigt. Das STM-Bild
vor Reinigungsbeginn (siehe Abb. 6.4.7) zeigt eine
wellige Oberfläche mit vielen kleinen Löchern und
wenig großen Löchern. Die mittlere Rauigkeit dieser
Oberfläche beträgt etwa 2,6 nm. Das Höhenprofil in
Abb. 6.4.7 weist Amplituden von maximal 35 Å auf.
Somit ist diese Oberfläche noch deutlich rauer als die Abb. 6.4.8: LEED-Bild nach dem
Ausgangsoberfläche bei der Galliumreinigung. Diese
unterschiedliche Rauigkeit ist darauf zurückzuführen,
letzten Reinigungsschritt (77eV).
dass Proben aus verschiedenen Wafern verwendet wurden.
Nach der Reinigung ist eine deutlich glattere Oberfläche mit einer geringeren Lochdichte
zu beobachten (siehe Abb. 6.4.7). Darüber hinaus können nur noch kleinere Löcher
beobachtet werden und keine großen Furchen wie auf der Ausgangsoberfläche. Das ausgewertete
Höhenprofil zeigt Amplituden von ca. 10 Å und diese sind somit deutlich geringer
als bei der Ausgangsoberfläche. Auch die mittlere Rauigkeit von etwa 1,07 nm bestätigt
die deutliche Verbesserung der Oberfläche nach der Reinigung. Darüber hinaus können
noch kleine parallele Furchen beobachtet werden, welche eine Tiefe von 3 -4Å aufweisen
(siehe Abb. 6.4.7, Pfeil). Die Ursache der Furchen ist unklar. Es wird jedoch vermutet,
dass diese aus dem Wachstumsprozess stammen. Analog zur c-plane-Oberfläche wird
die Verbesserung der Oberfläche auf die Reduzierung der Kontaminate sowie auf eine
Restrukturierung zurückgeführt [75].
In Abb. 6.4.8 ist das Beugungsbild der Oberfläche nach dem letzten Reinigungsschritt
dargestellt. Wie schon bei der Galliumreinigung kann wieder ein klares Bild der (1×1)-
Oberflächenstruktur erkannt werden. Dies bestätigt die STM- und XPS-Ergebnisse und
deutet ebenfalls auf eine saubere Oberfläche mit guter Kristallinität hin.
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