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Ein Reinraum ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen sehr gering gehalten wird. Je geringer der Anteil luftgetragener Teilchen in einem Raum sein soll, desto bedeutender wird Technik, die die Reinheit der Luft garantiert. Reinraumtechnik ist international jedoch keine Branche sondern ein Wirtschaftszweig, der essenziell ist in vielen Branchen, in denen Partikel und Keime kontraproduktiv sind bei der Herstellung, Bearbeitung und Abwicklung: Pharmazeutische Industrie und Biotechnologie, Chemische Industrie, Healthcare, Lebensmittelindustrie und Kosmetik, Oberflächen- und Kunststofftechnik, Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, Optik und Lasertechnologie, Luft- und Raumfahrttechnik, Automobilindustrie und Elektromobilität sowie grundsätzlich Forschung und Entwicklung. Reinraumtechnik ist in allen zukunftsrelevanten Branchen ein bedeutender regulatorischer und wirtschaftlicher Faktor. Alle diese aufgelisteten Branchen, und vermutlich noch ein paar weitere, haben im internationalen Wettbewerb ohne Reinraum keine Zukunfts-Perspektiven, denn regulatorische Anforderungen definieren Einsatzgebiete und Anwendungen: ISO-14611-Normenreihe und die VDI-2083-Richtlinienreihe, der EU-GMP-Leitfaden, die ISPE-Baseline-Guides und die WHO-Technical-Report-Serie-No-957, sowie einige mehr. Entscheidend beim Bau und beim späteren Betrieb einer Biotechnologieanlage, eines Halbleiterwerks, eines Labors oder eines Krankenhauses sind also nicht nur die Bau- und Brandschutzbestimmungen, sondern auch die Vorschriften für den Bau und Betriebs eines Reinraumes.

Ein Reinraum ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen sehr gering gehalten wird.
Je geringer der Anteil luftgetragener Teilchen in einem Raum sein soll, desto bedeutender wird Technik, die die Reinheit der Luft garantiert. Reinraumtechnik ist international jedoch keine Branche sondern ein Wirtschaftszweig, der essenziell ist in vielen Branchen, in denen Partikel und Keime kontraproduktiv sind bei der Herstellung, Bearbeitung und Abwicklung:
Pharmazeutische Industrie und Biotechnologie, Chemische Industrie, Healthcare, Lebensmittelindustrie und Kosmetik, Oberflächen- und Kunststofftechnik, Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, Optik und Lasertechnologie, Luft- und Raumfahrttechnik, Automobilindustrie und Elektromobilität sowie grundsätzlich Forschung und Entwicklung.
Reinraumtechnik ist in allen zukunftsrelevanten Branchen ein bedeutender regulatorischer und wirtschaftlicher Faktor.
Alle diese aufgelisteten Branchen, und vermutlich noch ein paar weitere, haben im internationalen Wettbewerb ohne Reinraum keine Zukunfts-Perspektiven, denn regulatorische Anforderungen definieren Einsatzgebiete und Anwendungen:
ISO-14611-Normenreihe und die VDI-2083-Richtlinienreihe, der EU-GMP-Leitfaden, die ISPE-Baseline-Guides und die WHO-Technical-Report-Serie-No-957, sowie einige mehr.
Entscheidend beim Bau und beim späteren Betrieb einer Biotechnologieanlage, eines Halbleiterwerks, eines Labors oder eines Krankenhauses sind also nicht nur die Bau- und Brandschutzbestimmungen, sondern auch die Vorschriften für den Bau und Betriebs eines Reinraumes.

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Hochpräzises Positioniersystem für die aktive Ausrichtung und Montage von Optiken<br />

Innovativer 5-Achs-Aligner<br />

für die Halbleiterindustrie<br />

Mit dem 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative Lösung für<br />

hochpräzise Ausrichtprozesse. Die Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch gewährleistet ein Höchstmaß an Präzision,<br />

Robustheit sowie Zuverlässigkeit und begeistert gleichzeitig mit kompakter Bauweise und hoher Anwenderfreundlichkeit.<br />

Eine ideale Lösung für die optische und aktive Ausrichtung.<br />

Das 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem<br />

des Dresdner Positionierspezialisten<br />

Steinmeyer Mechatronik besteht aus<br />

einem Tripod (MP200-3) und einem XY-<br />

Kreuztisch (KDT235) – beide mit Durchlichtöffnung<br />

– und vereint damit die Vorteile<br />

parallelkinematischer und gestapelter Systeme<br />

in einem Produkt. Es ist hochpräzise<br />

über den gesamten Verfahrweg, benötigt<br />

nur wenig Bauraum, ist einfach ansteuerbar<br />

und schafft dank seines robusten Aufbaus<br />

unter Industriebedingungen Millionen<br />

von Zyklen. Der 5-Achs-Alinger ist ein Paradebeispiel<br />

für die hohe Innovationskraft<br />

und Lösungskompetenz der Steinmeyer-<br />

Gruppe und hat sich in zahlreichen Alignment-Applikationen<br />

der Halbleiterindustrie<br />

erfolgreich als anwenderfreundliche, wirtschaftliche<br />

Lösung bewährt.<br />

5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem für die aktive Ausrichtung<br />

und Montage von Optiken. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik)<br />

Höchste Präzision bei großen<br />

Verfahrwegen<br />

Das Positioniersystem ist 235 mm lang, 235<br />

mm breit sowie 170 mm hoch. Es realisiert<br />

Verfahrwege in XY von 100 mm, einen Hub<br />

von 4 mm sowie Kippungen in Phi und Delta<br />

von 4° und punktet mit einer absolut gleichbleibenden<br />

Wiederholgenauigkeit über alle<br />

Freiheitsgrade. Die drei vertikal wirkenden<br />

Präzisionsachsen des Tripods sind mittels<br />

Festkörpergelenken mit der beweglichen<br />

Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die<br />

Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch<br />

in der Höhe verstellen. Ein gehärteter und<br />

geschliffener Gleitgewindetrieb von Feinmess<br />

Suhl mit einem Spindeldurchmesser<br />

von 5 mm und einer Gewindesteigung von<br />

0,5 mm ermöglicht feinste Zustellbewegungen.<br />

Die Gleitgewindetriebe von Feinmess<br />

Suhl sind Spezialisten für kleine, hochpräzise<br />

Stellbewegungen und eignen sich<br />

daher ideal zur Positionierung im kleinen<br />

Bauraum. Auch im Vakuum und Reinraum<br />

laufen sie mit Sonderschmierung über eine<br />

lange Zeit störungsfrei.<br />

Kartesisches Grundgerüst<br />

Für die XY-Bewegung sorgt der kompakt<br />

und robuste gebaute Durchlicht-Scantisch<br />

KDT235, auf dem der Tripod aufgesetzt ist.<br />

Hochpräzise Kugelgewindespindeln und<br />

eine justierbare Orthogonalität gewährleisten<br />

hochgenaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten.<br />

Die Präzisions-Kugelgewindetriebe<br />

der Firma August Steinmeyer<br />

sind mit einer Zylinder-Einzelmutter mit<br />

4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung<br />

ausgestattet. Die perfekte geometrische<br />

Qualität und Oberflächengüte der<br />

spielfrei vorgespannten Gewindetriebe<br />

garantieren einen idealen Gleichlauf in<br />

der Anwendung und ermöglichen kleinste<br />

Stellinkremente.<br />

Vielzahl an Optionen<br />

Ob optische und aktive Ausrichtung, hochauflösende<br />

Anwendungen in der Mikroskopie,<br />

3D-Imaging, Interferometrie, Autofokus-Systeme<br />

oder Halbleitertests: Das<br />

5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem<br />

ist in der Halbleiterindustrie vielfältig<br />

einsetzbar und eignet sich auch für nicht<br />

rotationssymmetrische Teile. Von Vorteil<br />

sind außerdem die virtuellen Drehpunkte,<br />

die an einer beliebigen Stelle in die Werkstückoberfläche<br />

gesetzt werden können.<br />

Damit lässt sich der Drehpunkt in die optische<br />

Funktionsfläche legen und das Inspektionsobjekt<br />

aus verschiedenen Winkeln<br />

betrachten.<br />

Eine Vielzahl an Optionen ermöglicht<br />

maximale Individualität. Als Zusatzausstattung<br />

stehen unter anderem Drehtische,<br />

Probenhalter, Motion Controller, Umhausungen<br />

sowie unterschiedliche Sicherheitskonzepte<br />

und -technik (Not-Aus, Türschalter,<br />

Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) zur<br />

Verfügung. Auch Varianten für Reinraum,<br />

UV, DUV, nicht reflektierende Oberflächen,<br />

magnetische Umgebungen sowie Vakuum<br />

sind realisierbar.<br />

Steinmeyer Mechatronik GmbH<br />

D 01259 Dresden<br />

www.reinraum.de | www.cleanroom-online.com NEWSLETTER | Ausgabe <strong>DE</strong> <strong>06</strong>-<strong>2024</strong><br />

Seite 76/84

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