PuK - Prozesstechnik & Komponenten 2024
Eine seit mehr als 60 Jahren bestehende Fachzeitschrift mit Themen rund um Einsatz von Pumpen, Kompressoren und Komponenten.
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Vakuumtechnik<br />
Vakuum-Anlagensystem<br />
Dabei werden Frequenzen über 2 Hz<br />
mit einem Dämpfungsgrad von über<br />
90 % abgefangen. Dieses Isolationskonzept<br />
ist dabei an entsprechend<br />
komplexere Systeme bei LIGO [6] und<br />
in anderen Speziallaboren in der Welt<br />
angelehnt. Zur Einkopplung von Experimentieraufbauten<br />
außerhalb des<br />
Systems ist ein zweiter optischer Tisch<br />
an einer Seitenwand der Vakuumkammer<br />
montiert und ermöglicht über<br />
transparente Flansche in einer Ebene<br />
mit beiden Experimentiertischen die<br />
Übertragung von Laserlicht von außen<br />
nach innen. Für den leichten Zugang<br />
zur Kammer und dem Experimentiertisch<br />
im Inneren befinden sich auf beiden<br />
Seiten der Vakuumkammer Türen.<br />
Vacuum installiert. Diese stehen im<br />
Nebenraum des Labors und sind mit<br />
einer ca. 4 m langen Vakuumverrohrung<br />
mit der Kammer verbunden. Die<br />
beiden Pumpen dienen der Erzeugung<br />
des Vorvakuums in der Kammer.<br />
Ist der Vorvakuumdruck von<br />
ca. 1e-1 mbar erreicht, kann die auf<br />
der Kammerdecke befindliche Turbomolekularpumpe<br />
ATH 3204 M zu<br />
geschalten werden, um noch tiefere<br />
Drücke zu erzielen. Die ATH 3204 M<br />
ist eine magnetgelagerte Turbomolekularpumpe<br />
und hat ein maximales<br />
Saugvermögen von 3050 l/s für Stickstoff.<br />
Die Magnetlagerung ermöglicht<br />
eine schwingungsarme Evakuierung<br />
des Volumens. Bei der Verbindung<br />
An der Vorderseite ist eine einzelne der einzelnen Pumpen zueinander<br />
große Tür, um das gesamte Innenvolumen<br />
für Experimente zugänglich zu wurde darauf geachtet, Verbin-<br />
dungselemente einzusetzen, die eine<br />
machen. Hierüber kann im Bedarfsfall Verminderung der Schwingungsübertragung<br />
auch der interne optische Tisch entnommen<br />
werden. Die Rückseite der<br />
Vakuumkammer ist geteilt und erlaubt<br />
den Zugriff auf den Experimentiertisch<br />
über zwei separate Türen.<br />
erzielen. Mit dem Pum-<br />
psystem kann ein Vakuumdruck von<br />
ca. 1e-6 mbar in weniger als 2 h und<br />
ein pers pektivischer Enddruck von<br />