PuK - Prozesstechnik & Komponenten 2024

Vakuumtechnik
Vakuum-Anlagensystem
Dabei werden Frequenzen über 2 Hz
mit einem Dämpfungsgrad von über
90 % abgefangen. Dieses Isolationskonzept
ist dabei an entsprechend
komplexere Systeme bei LIGO [6] und
in anderen Speziallaboren in der Welt
angelehnt. Zur Einkopplung von Experimentieraufbauten
außerhalb des
Systems ist ein zweiter optischer Tisch
an einer Seitenwand der Vakuumkammer
montiert und ermöglicht über
transparente Flansche in einer Ebene
mit beiden Experimentiertischen die
Übertragung von Laserlicht von außen
nach innen. Für den leichten Zugang
zur Kammer und dem Experimentiertisch
im Inneren befinden sich auf beiden
Seiten der Vakuumkammer Türen.
Vacuum installiert. Diese stehen im
Nebenraum des Labors und sind mit
einer ca. 4 m langen Vakuumverrohrung
mit der Kammer verbunden. Die
beiden Pumpen dienen der Erzeugung
des Vorvakuums in der Kammer.
Ist der Vorvakuumdruck von
ca. 1e-1 mbar erreicht, kann die auf
der Kammerdecke befindliche Turbomolekularpumpe
ATH 3204 M zu
geschalten werden, um noch tiefere
Drücke zu erzielen. Die ATH 3204 M
ist eine magnetgelagerte Turbomolekularpumpe
und hat ein maximales
Saugvermögen von 3050 l/s für Stickstoff.
Die Magnetlagerung ermöglicht
eine schwingungsarme Evakuierung
des Volumens. Bei der Verbindung
An der Vorderseite ist eine einzelne der einzelnen Pumpen zueinander
große Tür, um das gesamte Innenvolumen
für Experimente zugänglich zu wurde darauf geachtet, Verbin-
dungselemente einzusetzen, die eine
machen. Hierüber kann im Bedarfsfall Verminderung der Schwingungsübertragung
auch der interne optische Tisch entnommen
werden. Die Rückseite der
Vakuumkammer ist geteilt und erlaubt
den Zugriff auf den Experimentiertisch
über zwei separate Türen.
erzielen. Mit dem Pum-
psystem kann ein Vakuumdruck von
ca. 1e-6 mbar in weniger als 2 h und
ein pers pektivischer Enddruck von