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In einer sich schnell entwickelnden Branche sind aktuelle Informationen wichtig. reinraum online bietet einerseits Interessierten die Möglichkeit, sich aktuell und umfassend über die Reinraum-Branche zu informieren. Andererseits können Unternehmen und Personen die Plattform nutzen, Fachbeiträge, redaktionelle Artikel und Firmennews zu veröffentlichen. Ein Veranstaltungskalender ergänzt das Informationsangebot. Der ExpertenPool hilft bei der Profi-Suche: WER macht WAS im Reinraum INTERNET: Aktuelle Informationen werden täglich/zeitnah im Internet auf www.reinraum.de veröffentlicht. NEWSLETTER: Am Monatsbeginn wird eine interessante Auswahl an Artikeln des letzten Monats als Newsletter an die Abonnenten per eMail verschickt. NEWSFLASH: Zwischen den monatlichen Newslettern werden aktuelle Informationen per NEWSFLASH an die Abonnenten verschickt. JAHRBUCH: Im Januar werden ausgewählte Artikel des letzten Jahres zum Reinraum Jahrbuch zusammengefasst.

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Der ExpertenPool hilft bei der Profi-Suche: WER macht WAS im Reinraum INTERNET: Aktuelle Informationen werden täglich/zeitnah im Internet
auf www.reinraum.de veröffentlicht.
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Investition in neue Fertigungsanlage für die Halbleiterausrüstungsindustrie.<br />

Hightech-Fab von Jenoptik in Dresden<br />

erhält hochmoderne Elektronenstrahl-<br />

Lithografie-Anlage<br />

Der Photonik-Konzern Jenoptik investiert einen niedrigen zweistelligen<br />

Millionenbetrag in den Anlagenpark der derzeit entstehenden<br />

Hightech-Fab in Dresden. Mit der neuen Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage<br />

(„E-Beam“) werden zukünftig hochpräzise mikrooptische<br />

Komponenten für Kunden aus dem Halbleiterbereich und der<br />

optischen Kommunikation hergestellt. Die Lieferung der Anlage erfolgt<br />

Anfang 2<strong>02</strong>5. Hersteller ist der in Jena ansässige E-Beam-Technologiespezialist<br />

Vistec Electron Beam GmbH.<br />

Kleinste Strukturen mit höchster Präzision erschaffen<br />

Eine derartige Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage kann Strukturen<br />

mit einer Präzision im 10-Nanometer-Bereich (ungefähr<br />

Konzeptbild der neuen Fab. © studiobrand.3dvisuals<br />

1/2.000stel eines Haares) auf bis zu 300 mm großen Substraten<br />

„schreiben“.<br />

Die Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage Vistec SB3050-2 basiert<br />

auf dem sogenannten variablen Formstrahl-Prinzip, mit dem<br />

auch große Flächen hochgenau und effektiv strukturiert werden<br />

können. Der hohe Automatisierungsgrad, bei gleichzeitiger Flexibilität<br />

in Bezug auf nutzbare Substrate, sind weitere Eigenschaften<br />

der Vistec SB3050-2, die deren Einsatz in industrieller Umgebung<br />

ermöglichen. Die Ausstattung der Anlage mit Zellprojektions-Funktionalität<br />

eröffnet weitere Möglichkeiten für Anwendungen in der<br />

Mikrooptik.<br />

Jenoptik ist bereits seit 2007 in Dresden aktiv. Mit der neuen<br />

Hightech-Fab im Airportpark Dresden bündelt das Unternehmen<br />

die aktuell über mehrere kleine Außenstandorte verteilte Fertigung,<br />

gleichzeitig werden die Kapazitäten erweitert. So erstreckt sich die<br />

Reinraumproduktion in der neuen Fab auf 2.000 Quadratmetern mit<br />

Reinraumbereichen der Klassen ISO 5 und 3 und genügt höchsten<br />

Anforderungen an Schwingungsfreiheit und Temperaturkonstanz.<br />

Für die gesamte Fab werden hohe Umweltstandards berücksichtigt:<br />

Jenoptik strebt an, mit dem „KfW 40 Standard“ und der „LEED<br />

Gold-Standard Zertifizierung“ die aktuell umfassendsten und<br />

strengsten Gebäude-Kriterien in Sachen Nachhaltigkeit zu erfüllen.<br />

Gleichzeitig entstehen hochwertige Arbeitsplätze, die Mitarbeiterzahl<br />

wird sich vor Ort auf insgesamt mehr als 120 Beschäftigte erhöhen.<br />

Die sächsische Landeshauptstadt wird so zum Hauptstandort<br />

für den Bereich Mikrooptik.<br />

JENOPTIK AG<br />

D 07743 Jena<br />

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Freitag, 29. Oktober 2<strong>02</strong>1 08:00:44<br />

www.reinraum.de | www.cleanroom-online.com NEWSLETTER | Ausgabe <strong>DE</strong> 05-2<strong>02</strong>3 Seite 15/103

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