Sondergebiete der Technik
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46 Sondergebiete der Technik, Wahlthema: Mikrosystemtechnik (TG) 4 Silizium-Mikromechanik 12 Die Schülerinnen und Schüler erklären die Herstellungsverfahren mikromechanischer Bauteile. Sie erläutern mikromechanische Systeme und deren Einsatzmöglichkeiten. Mit ausgewählten Systemen führen sie Messungen durch und entwerfen Anwendungen. Lithografische Verfahren Masken Resist Tiefenätztechnik Anisotrope Ätzverfahren Optische Verfahren, Elektronenstrahllithografie Aufbau und Verbindungstechnik Hybridtechnik, Löten, Bonden, SMD-Technik Mikromechanische Bauelemente Anwendungen 5 Ein geeignetes Bauteil näher untersuchen z. B. Druck- und Beschleunigungssensoren, Durchflusssensoren, Lichtmodulatoren, Mikrospiegel, Magnetische Mikrosensoren, Chemische Mikrosensoren, Mikrofluidische Komponenten LIGA-Verfahren 8 Die Schülerinnen und Schüler erklären die unter dem Begriff LIGA zusammengefassten Verfahren und erläutern Gemeinsamkeiten und Unterschiede zu den Fertigungsverfahren der Mikroelektronik und Silizium-Mikromechanik. Maskenherstellung Absorber, Trägerfolien Röntgentiefenlithografie Röntgenstrahlung, Synchrotronstrahlung, Dicke Resistschichten, Qualität der abgebildeten Struktur Galvanische Abscheidung Formeinsatzherstellung für die Mikroabformung, Galvanoformung Kunststoffabformung Reaktionsgießen, Spritzgießen, Heißprägen Berufliches Gymnasium, dreijährige Aufbauform Schulversuch 41-6624.10/104 vom 16.08.2007 LS-FB 4 29.07.11/gi BG2-TG-SV_Sondergebiete-der-Technik_08_3661.doc
Sondergebiete der Technik, Wahlthema: Mikrosystemtechnik (TG) 47 6 Nanotechnik 8 Die Schülerinnen und Schüler erklären den Unterschied zwischen Mikro- und Nanotechnologie. Sie erläutern Beispiele für nanotechnologische Entwicklungen und deren Integration in Mikrosysteme. Zusammenhang zwischen struktureller Größe und Funktionalität Eigenschaften wie Härte, Leitfähigkeit, Farbe und Reaktivität hängen von der Partikelgröße ab, Längenskala Grenzen der Skalierbarkeit Moores Gesetz, Downscaling makroskopischer Funktionalitäten, Bottom-up und Top-down Verfahren, Bedeutung der Nanotechnik für die Wirtschaft Beispiele nanotechnologischer Entwicklungen und Verfahren Integration in Mikrosysteme Rasterkraftmikroskopie, Entwicklungen in verschiedenen technologischen Gebieten z. B. Chemie, Werkstofftechnik, Medizintechnik, Pharmazie, Feinmechanik, Optik Berufliches Gymnasium, dreijährige Aufbauform Schulversuch 41-6624.10/104 vom 16.08.2007 LS-FB 4 29.07.11/gi BG2-TG-SV_Sondergebiete-der-Technik_08_3661.doc
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<strong>Son<strong>der</strong>gebiete</strong> <strong>der</strong> <strong>Technik</strong>, Wahlthema: Mikrosystemtechnik (TG) 47<br />
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Nanotechnik 8<br />
Die Schülerinnen und Schüler erklären den Unterschied zwischen Mikro- und Nanotechnologie.<br />
Sie erläutern Beispiele für nanotechnologische Entwicklungen und <strong>der</strong>en Integration in Mikrosysteme.<br />
Zusammenhang zwischen struktureller Größe<br />
und Funktionalität<br />
Eigenschaften wie Härte, Leitfähigkeit, Farbe<br />
und Reaktivität hängen von <strong>der</strong> Partikelgröße<br />
ab,<br />
Längenskala<br />
Grenzen <strong>der</strong> Skalierbarkeit Moores Gesetz,<br />
Downscaling makroskopischer<br />
Funktionalitäten,<br />
Bottom-up und Top-down Verfahren,<br />
Bedeutung <strong>der</strong> Nanotechnik für die Wirtschaft<br />
Beispiele nanotechnologischer Entwicklungen<br />
und Verfahren<br />
Integration in Mikrosysteme<br />
Rasterkraftmikroskopie,<br />
Entwicklungen in verschiedenen<br />
technologischen Gebieten z. B.<br />
Chemie, Werkstofftechnik,<br />
Medizintechnik, Pharmazie,<br />
Feinmechanik, Optik<br />
Berufliches Gymnasium, dreijährige Aufbauform Schulversuch 41-6624.10/104 vom 16.08.2007<br />
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