Sensoren und Aktoren
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13<br />
Kapazitive <strong>Sensoren</strong><br />
• Federelastische<br />
Meßmembran +<br />
gegenüberliegende<br />
leitfähige Fläche der<br />
Gehäuses + Füllflüssigkeit<br />
dazwischen =<br />
Differentialkondensator<br />
• Druck � Auslenkung<br />
Membran � Änderung<br />
Kapazität C ~ 1/l<br />
• C + ΔC ~ 1/(l-Δl)<br />
• Absolutdruck /<br />
Differenzdruckverfahren<br />
PRLT, 4.5.06, Urbas
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