Sensoren und Aktoren
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Piezoresistive <strong>Sensoren</strong><br />
• Piezoresistive Effekte von Halbleitern, meist p-dotiertes Silizium<br />
• Druck � Veränderung elektrischer Eigenschaften<br />
• Aufbringen auf Membran analog DMS in Zonen mit Dehnung <strong>und</strong><br />
Stauchung, Temperaturkompensation mit Vollbrücke<br />
PRLT, 4.5.06, Urbas
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