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Deutsch [de] - Festo

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Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

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Partner für Automatisierung<br />

Solar- und Flachbildschirmindustrie


Ihr Ziel: Sichere und wirtschaftliche Produktion mit innovativen Systemen<br />

Hoher Output, sichere Produktion und schneller Return on Invest<br />

stehen im Fokus Ihrer Interessen. Ob<br />

• Waferbasierte Solarmodulherstellung,<br />

• Dünnfilmbasierte Solarmodulherstellung o<strong>de</strong>r<br />

• Flachbildschirmherstellung,<br />

Unser Beitrag: Vorsprung durch komplette Automatisierungssysteme<br />

Individuell und bestens in Ihre Fertigung integriert: Automatisierungslösungen<br />

von <strong>Festo</strong>.<br />

Systeme zum Beispiel für:<br />

• Be-und Entla<strong>de</strong>n von Substraten<br />

• Taping und Stringing<br />

• Liften <strong>de</strong>r schweren Flachbildschirmsubstrate<br />

Ihre systemtechnischen Gesamtlösungen begleiten wir über <strong>de</strong>n kompletten<br />

Lebenszyklus hinweg. Von <strong>de</strong>r Beratung und <strong>de</strong>m Engineering<br />

über die Inbetriebnahme bis hin zu einem umfangreichen After Sales<br />

Service. Für schnellen Return on Invest, maximierte Produktivität und<br />

erhöhte Prozesssicherheit.<br />

Teleskophandling Sliding Fork<br />

zum Be- und Entla<strong>de</strong>n von Substraten,<br />

wahlweise elektrisch<br />

o<strong>de</strong>r servopneumatisch<br />

von einem echten Partner in <strong>de</strong>r Solar- und Flachbildschirmindustrie<br />

erwarten Sie Kosten senken<strong>de</strong> und prozesssichere Lösungen beim<br />

Fertigen von Wafer, Dünnfilmzellen o<strong>de</strong>r Flachbildschirmen, beim Herstellen<br />

von Zellen o<strong>de</strong>r Modulen und bei <strong>de</strong>r „Inline“- o<strong>de</strong>r „Batch“-<br />

Fertigung – über die komplette Wertschöpfungskette hinweg.<br />

Null Schnittstellenprobleme<br />

Auch bei sehr komplexen Handlings passt die Hardware aus unserem<br />

Mehrachsbaukasten immer.<br />

• Einfache Pick and Place Handlings<br />

• Linienportale<br />

• Raumportale<br />

• die Königsklasse: optimierte High Speed Handlingsysteme<br />

Nicht zuletzt integrieren wir Ihre Gesamtlösung inklusive <strong>de</strong>r passen<strong>de</strong>n<br />

Steuerungsarchitektur in Ihr Kommunikationskonzept und Ihr<br />

Leitsystem!<br />

Raumportal mit Zahnriemenachse<br />

EGC: i<strong>de</strong>al für Umsetz-<br />

und Palettieraufgaben


Viele unterschiedliche Bearbeitungsschritte – eine Lösung: <strong>Festo</strong><br />

Hochkomplexe Abläufe in vielen unterschiedlichen Arbeitsschritten<br />

und Prozessen prägen Solar- und Flachbildschirmindustrie. Entwickeln<br />

Sie gemeinsam mit unseren Spezialisten für die Solar- und Flachbildschirmindustrie<br />

die i<strong>de</strong>ale Lösung für Sie. Produktiv, wirtschaftlich,<br />

energieeffizient.<br />

Hohe Dynamik, niedrige Bruchraten<br />

Für das schnelle und sichere Umsetzen von Wafern: Das High Speed<br />

H-Portal. Ausgezeichnet mit <strong>de</strong>m Intersolar Award! Inklusive: <strong>de</strong>r<br />

Bernoulli-Greifer OGVB für bruchfreies und rückstandsloses Umsetzen<br />

auf einem Luftkissen.<br />

Schnell, sanft und gleichmäßig bewegen<br />

Zerbrechliche und schwere Dünnschichtmodule schnellstens, aber<br />

gleichmäßig und sanft vertikal bewegen: Das leisten die Liftersysteme<br />

von <strong>Festo</strong> – weil sie die Vorteile von Pneumatik und Elektrik kombinieren.<br />

Substrate kostengünstig be- und entla<strong>de</strong>n<br />

Sowohl im Hochvakuum als auch unter atmosphärischen Bedingungen<br />

i<strong>de</strong>al zum Substrattransport: Das stufenlose Teleskophandling Sliding<br />

Fork. Bauraum = Werkstückgröße. Und kostengünstiger als je<strong>de</strong><br />

Roboterlösung.<br />

Kontaktfreier Substrattransport auf Luftlagern<br />

Sicherer Transport von Substraten mit Luftlagertischen ATBT:<br />

Auf einem Luftkissen wer<strong>de</strong>n die Substrate sanft transportiert –<br />

bei minimalem Luftverbrauch. Hochpräzise Wege z.B. für die Laserstrukturierung<br />

inklusive.


Ihr Ziel: optimal automatisierte Fertigungslösungen<br />

Unser Beitrag: die Kombination aus Anwendungs- und Technologiewissen!<br />

Dünnfilmbasierte Solarmodulfertigung<br />

Strukturierung<br />

Berührungsloser Transport <strong>de</strong>r<br />

Glasplatte dank Luftlager<br />

Substrattransport elegant gelöst:<br />

Sliding Fork<br />

Die kostengünstigere und kompakte Alternative<br />

zu Robotern führt z.B. Substrate in<br />

Prozesskammern bei Hochvakuum und<br />

200 °C ein. Hübe bis 2 m, kompakt, je nach<br />

Einsatz Servopneumatik o<strong>de</strong>r Elektrik.<br />

Funktionsvielfalt auf minimalem Bauraum:<br />

Ventilinsel VTOC<br />

I<strong>de</strong>al als Vorsteuerventil für die kompakten<br />

Anlagen <strong>de</strong>r Halbleiter- und Prozessindustrie.<br />

Bis zu 48 mal 3/2 Wege. Für höchste Prozesssicherheit:<br />

das integrierte Lichtleitersystem.<br />

Dispensing<br />

Einfach programmierbare Achssysteme<br />

sichern das schnelle<br />

und präzise Auftragen von Leitkleber<br />

Clevere Automatisierungslösungen<br />

vom Front-End zum Back-End<br />

Mehr unter<br />

www.festo.com/solar/duennfilm<br />

Laminieren<br />

Das Teleskophandling Sliding<br />

Fork führt die Glasplatten <strong>de</strong>m<br />

Laminiervorgang zu<br />

Dünnfilm-Substrate kontaktlos transportieren<br />

und fixieren: Luftlager ATBT<br />

Ein hauchdünnes Luftkissen sorgt dafür – bei<br />

minimalem Luftverbrauch. I<strong>de</strong>al für die präzise<br />

Laser-Kantenisolierung von Wafern o<strong>de</strong>r<br />

die Strukturierung von Dünnfilm-Solarzellen.<br />

Schneller und dynamischer Durchflusssensor<br />

für Flüssigkeiten: SFAW<br />

Erfasst Durchfluss, Verbrauch und Temperatur<br />

von Medien bis 100 °C absolut exakt.<br />

Intuitiv einstellbar. Kleines, drehbares Display<br />

mit Farbumschlag zur besseren Prozesskontrolle.


Waferbasierte Solarmodulherstellung<br />

Wafer sägen<br />

Exaktes Sägen <strong>de</strong>s Ingots durch<br />

korrekte Spannung <strong>de</strong>s Sägedrahts<br />

Wafer schnell und sicher umsetzen:<br />

High Speed H-Portal<br />

Extrem flach, hoch dynamisch mit 50 m/s²,<br />

erschütterungsarm. Clever: das intelligente<br />

Handlingkonzept. Nutzt <strong>de</strong>n Bauraum 1:1<br />

als Arbeitsraum.<br />

Wafer und Solarzellen schonend<br />

und schnell transportieren:<br />

Bernoulli-Greifer OGVB<br />

Überaus schonend dank Luftkissen: das Umsetzen<br />

o<strong>de</strong>r <strong>de</strong>r Transport zur Oberflächenkontrolle.<br />

Hohe Ansaugkraft ohne Vakuum<br />

durch Bernoulli-Effekt.<br />

Antireflexionsbeschichtung<br />

Schnelles und schonen<strong>de</strong>s Beund<br />

Entla<strong>de</strong>n <strong>de</strong>r Carrier<br />

Gemeinsames Engineering für<br />

optimale Ergebnisse in <strong>de</strong>r Fertigung<br />

– vom Wafer bis zum Modul<br />

Mehr unter<br />

www.festo.com/solar/wafer<br />

Tabbing und Stringing<br />

Ganzeitlich ausgelegte Handlinglösungen<br />

für sicheres und<br />

genaues Umsetzen<br />

100 %ige Qualitätskontrolle:<br />

intelligentes Kamerasystem SBOC-Q<br />

Orientierungsprüfung, Oberflächencheck,<br />

exakte Vermessung, Kantenprüfung und<br />

Feinpositionierung. Auswertelektronik<br />

und Schnittstellen (Ethernet/CAN) zur<br />

SPS integriert!<br />

Vereinzeln und Nachtakten:<br />

Elektrozylin<strong>de</strong>r DNCE<br />

Sanfte Beschleunigung, Stick-slip-frei, flexible<br />

Motormontage, wartungsfrei – <strong>de</strong>r DNCE<br />

ist i<strong>de</strong>al für das <strong>de</strong>finierte Andrücken <strong>de</strong>s<br />

Vereinzelers o<strong>de</strong>r das Nachtakten von Waferstapeln.


Flachbildschirmherstellung<br />

CVD<br />

Verlässliche Zusteuerung <strong>de</strong>r<br />

Medienventile beim Aufbringen<br />

<strong>de</strong>r Halbleiterschicht im Vakuum<br />

Kontaktloser Flachbildschirmtransport:<br />

Luftlagerrails ATBT<br />

Die neuartige Transportmöglichkeit für<br />

schwere und zerbrechliche Substrate: kontaktlos<br />

auf einem hauchdünnem Luftkissen.<br />

Minimaler Luftverbrauch!<br />

Wirtschaftlicher durch Downsizing:<br />

Elektrische Achse EGC<br />

Dynamisch und schnell – ob Handling von<br />

Flachbildschirmsubstraten o<strong>de</strong>r an<strong>de</strong>re<br />

Transportaufgaben. Die hohe Steifigkeit<br />

durch Aluminiumprofile mit außen liegen<strong>de</strong>r<br />

Führung erlaubt meist eine kleinere Auslegung.<br />

Mit Zahnriemen- o<strong>de</strong>r Spin<strong>de</strong>lantrieb.<br />

Plastic Rubbing<br />

Präzise Ansteuerung <strong>de</strong>r Rollen<br />

durch Proportionaltechnik für<br />

gleichmäßiges Aufdrucken und<br />

Strukturieren<br />

Ob Colour Filter-, Array- o<strong>de</strong>r<br />

Touch Panel-Herstellung – <strong>Festo</strong><br />

unterstützt Sie über die komplette<br />

Prozesskette hinweg<br />

Mehr unter<br />

www.festo.com/flachbildschirm<br />

Schnei<strong>de</strong>n und Schleifen<br />

Intelligente Portalsysteme für<br />

schnelles und präzises Vereinzeln<br />

<strong>de</strong>r Module<br />

Ventilinsel MPA mit elektrischem<br />

Terminal CPX<br />

Höhere Anlagenverfügbarkeit und Prozesssicherheit<br />

durch integrierte Diagnose und<br />

Condition Monitoring. Intelligente Vorverarbeitung,<br />

Web-Monitor über Ethernet.<br />

Feinfühlig dosiert:<br />

Proportional-Druckregelventil VPPM<br />

Pneumatik perfekt kontrolliert – von <strong>de</strong>r<br />

<strong>de</strong>finierten Spannung <strong>de</strong>s Ingot-Sägeban<strong>de</strong>s<br />

bis zum kontrollierten Anpressdruck für die<br />

Ansteuerung <strong>de</strong>r Pressen im Plastic Rubbing.


Konsequent gelebt: durchgängige Unterstützung<br />

Hinter <strong>de</strong>r Services- und Support-Philosophie von <strong>Festo</strong> steht die<br />

permanente Analyse <strong>de</strong>r Wertschöpfungsketten unterschiedlichster<br />

Kun<strong>de</strong>n aus <strong>de</strong>r Flatpanel- und Solarindustrie, aber auch weiterer<br />

Branchen. Daraus hat <strong>Festo</strong> ein ausgefeiltes Portfolio entwickelt,<br />

das Ihre Wertschöpfungskette durchgängig unterstützt.<br />

Engineering: clevere Konzepte<br />

mit innovativen Systemen<br />

Betrieb und Wartung:<br />

hohe Anlagenverfügbarkeit,<br />

Geld gespart!<br />

Montage und Inbetriebnahme:<br />

einfach, flexibel und schnell!<br />

Beschaffung/Logistik:<br />

alles aus einer Hand!<br />

• Beratung<br />

• Recherche- und Engineering-<br />

Tools<br />

• Dimensionierungs-Tools<br />

• Elektronischer Katalog<br />

• 3D-Daten<br />

• Energy Saving Service<br />

• Modulare Service-Verträge<br />

• Druckluftqualitätsanalyse<br />

• Ersatzteilkatalog/Reparaturservice<br />

• Support Portal für Dokumentationen<br />

etc.<br />

• Einbaufertige Lösungen<br />

• Inbetriebnahme von Achssystemen<br />

• Druckluftverbrauchsanalyse<br />

• Kostenlose ePlan und<br />

CoDeSys-Makros<br />

• <strong>Festo</strong> Online Shop<br />

• 24-Stun<strong>de</strong>n-Lieferservice<br />

• Logistik-Optimierungsservice<br />

• PrePack


Vorsprung für Sie: komplette Automatisierungssysteme aus einer Hand<br />

Leitebene<br />

Steuerungsebene<br />

Steuerung<br />

Bedienung<br />

Visualisierung<br />

Controller<br />

Fel<strong>de</strong>bene<br />

Ansteuerung<br />

Antriebe<br />

Front Unit<br />

Sensorik<br />

Druckluftversorgung,<br />

Zubehör<br />

Anwendungsoptimierte Lösungen<br />

SPS<br />

(ABB, Allen-Bradley,<br />

Rockwell, Siemens<br />

etc.)<br />

Modulare Steuerung<br />

CECX<br />

Integrierte Steuerung<br />

FED-CEC<br />

Leitsystem<br />

Sicher und wirtschaftlich produzieren mit innovativen Systemen<br />

Hoher Output, sichere Produktion und schneller Return on Invest sind<br />

die dominieren<strong>de</strong>n Faktoren in Ihrer Branche. Neue Lösungen müssen<br />

ihren Teil dazu beitragen, diese For<strong>de</strong>rungen einzulösen. Die innovativen<br />

Systeme von <strong>Festo</strong> erfüllen genau diese Ansprüche: Kosten<br />

senken<strong>de</strong> und prozesssichere Lösungen beim Fertigen von Wafer,<br />

Dünnfilmzellen o<strong>de</strong>r Flachbildschirmen, beim Herstellen von Zellen<br />

o<strong>de</strong>r Modulen und bei <strong>de</strong>r „Inline“ – o<strong>de</strong>r „Batch“-Fertigung – über<br />

die komplette Wertschöpfungskette hinweg.<br />

Diagnose<br />

CPX-Web Monitor Front End Displays Visualisierung VIPWin CPX-Web Monitor Visualisierung VIPWin Diagnose und<br />

Vorverarbeitung<br />

Diagnose vor Ort<br />

Elektrische Installationskonzepte<br />

• zentral<br />

• <strong>de</strong>zentral<br />

• vor Ort<br />

• hybrid<br />

Installationssysteme<br />

CPI<br />

Autarke Einheiten<br />

vor Ort<br />

Ventile Ventilinseln <strong>de</strong>zentral Ventilinseln vor Ort<br />

Normzylin<strong>de</strong>r<br />

DNC<br />

DNCB<br />

Ausleger<br />

HMP-B<br />

HMPL<br />

Minischlitten<br />

DGSL<br />

Greifer<br />

Elektrischer<br />

Greifer<br />

Positionierbarer<br />

Greifer<br />

Kompakt-/Kurzhubzylin<strong>de</strong>r<br />

ADN/P<br />

ADVC<br />

ADVU<br />

Rundzylin<strong>de</strong>r<br />

DSNU<br />

Kolbenstangenlose Antriebe<br />

DGC<br />

Achscontroller<br />

SPC200<br />

Achsinterface<br />

SPC-AIF<br />

Endlagenregler<br />

SPC11<br />

Proportionalventil<br />

MPYE<br />

Linearantriebe<br />

mit Wegmesssystem<br />

Positioniercontroller<br />

CMAX<br />

Proportionalventil<br />

VPWP<br />

DNCI DSMI-B<br />

DGCI<br />

Sensorinterface<br />

CASM<br />

pneumatisch servopneumatisch elektrisch<br />

Parallel -<br />

greifer<br />

3-Backen-<br />

Greifer<br />

Winkel-<br />

und Radialgreifer<br />

Microgreifer<br />

Schwenk-<br />

Greifein heiten<br />

Vakuum<br />

Vakuumgreifer<br />

Sensoren Integrierte Sensorik<br />

Position Näherung Objekterkennung Abstand<br />

Farbe<br />

Druck Durchfluss<br />

Signalkonverter<br />

Kun<strong>de</strong>nspezifische Produkte und Services<br />

PrePack Modifikationen Integrationstechnik<br />

Magnetventilblöcke/<br />

Steuerblöcke<br />

Neuentwicklungen<br />

Schaltschränke<br />

Endlagenregler<br />

CMPX<br />

Schwenkmodule<br />

mit Wegmesssystem<br />

Vakuumsaugdüsen<br />

Motorcontroller<br />

SFC-DC<br />

SFC-LAC SFC-LACI<br />

Handhabungsachsen Linearmotorachsen<br />

HME<br />

ELGL-LAS<br />

mit Linearmotor<br />

Schlitten<br />

EGSL<br />

SLTE mit DC-Motor<br />

Drehantriebe<br />

elektrisch pneumatisch<br />

Servomotoren<br />

EMMS-AS<br />

Portalachsen<br />

EGC<br />

Schrittmotoren<br />

EMMS-ST<br />

Stellmotoren<br />

MTR-DCI<br />

Auslegerachsen<br />

Pick & Place Linienportal Flächenportal Raumportal Stabkinematik/Tripod<br />

DNCE-LAS<br />

DFME-LAS<br />

EGC-HD<br />

DGE<br />

DGE-ZR-RF<br />

EGSK/EGSP<br />

ELGR<br />

EGSA<br />

DGEA<br />

DNCE<br />

Bildverarbeitung<br />

Typen-, Positions-, Drehlagenerkennung;<br />

Qualitätsprüfung;<br />

Diagnose und Inbetriebnahme<br />

Druckluftaufbereitung Verbindungstechnik, pneumatisch elektrisch<br />

Regler Filter Öler<br />

Ventile Trockner<br />

(Differenz-)<br />

Durchfluss Druck-<br />

Kunststoff-<br />

Verschraubungen Kupplungen Kabel, Stecker<br />

Druck<br />

Verstärker<br />

Schläuche<br />

Handhabungssysteme<br />

Handlingmodule<br />

E/A-Module<br />

kompakt<br />

robust<br />

wirtschaftlich<br />

Robotiksteuerung<br />

CMXR<br />

Achsinterface<br />

CPX-CMXX<br />

Integrierte Steuerung<br />

CPX-CEC<br />

Servomotor- Servomotor- Servomotor- Schrittmotor<br />

controller controller Doppel-Control- controller<br />

CMMP-AS CMMS-AS ler CMMD-AS CMMS-ST<br />

Ethernet<br />

(Profinet<br />

Ethernet/IP<br />

EtherCat<br />

TCP)<br />

Feldbus<br />

(Profibus,<br />

Interbus,<br />

DeviceNet,<br />

CANopen,<br />

CC-Link)<br />

FHPP<br />

<strong>Festo</strong> Handling and<br />

Positioning Profile<br />

CoDeSys<br />

provi<strong>de</strong>d by <strong>Festo</strong><br />

FST 4<br />

<strong>Festo</strong> Software<br />

Tool<br />

FCT<br />

<strong>Festo</strong><br />

Configuration<br />

Tool<br />

PositioningDrives<br />

Auslegungs-<br />

und Berechnungs -<br />

software für elek -<br />

trische Antriebe<br />

www.festo.com<br />

135296 <strong>de</strong> 2012/01

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