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4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
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4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
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4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
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4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
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4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
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4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
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4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
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Volumenfluß [μl/min] 4.3 FLUID-ST
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 7
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 7
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 7
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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olysilicon membrane 4.4 ANALYSE UND
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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5 Modellierung auf Systemebene 5.1
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5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
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5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
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5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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6 Zusammenfassung und Ausblick Um d
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integrierte mikromechanische Drucks
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effiziente und dennoch detailgetreu
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Ausblick Ausgehend von den in diese
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Appendix Symbolverzeichnis Der bess
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APPENDIX 165 Kapitel 4 Kapitel 4.1
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APPENDIX 167 Symbol Bedeutung ¤
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APPENDIX 169 Symbol Bedeutung � I
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Literaturverzeichnis [1] ABAQUS, Hi
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LITERATURVERZEICHNIS 173 [28] R. B.
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LITERATURVERZEICHNIS 175 [56] R. H.
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LITERATURVERZEICHNIS 177 [84] NEXUS
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LITERATURVERZEICHNIS 179 [111] S. S
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LITERATURVERZEICHNIS 181 [140] P. V
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LITERATURVERZEICHNIS 183 [165] O. Z
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Mein Dank ... gilt allen, die zum G