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Fakultät für Elektrotechnik und I
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Zusammenfassung Mikrosysteme werden
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Abstract The progressing miniaturiz
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Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung ¡
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INHALTSVERZEICHNIS VII 5.3.3 Unters
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1 Einleitung Mikrosystemtechnik: ei
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Entwurf und Modellierung von Mikros
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lem, die Kopplung zu parasitären E
- Seite 19 und 20: 2 Modellierung von Mikrosystemen Di
- Seite 21 und 22: 2.1 ANFORDERUNGEN AN DIE SIMULATION
- Seite 23 und 24: 2.2 GRUNDLEGENDER ANSATZ ZUR MODELL
- Seite 25 und 26: 2.2 GRUNDLEGENDER ANSATZ ZUR MODELL
- Seite 27 und 28: Sfrag replacements 2.2 GRUNDLEGENDE
- Seite 29 und 30: 2.3 SIMULATIONSWERKZEUGE 17 physika
- Seite 31 und 32: 2.3 SIMULATIONSWERKZEUGE 19 beispie
- Seite 33 und 34: 3 Funktionsweise und meßtechnische
- Seite 35 und 36: 3.1 BICMOS-INTEGRIERTER MIKROMECHAN
- Seite 37 und 38: 3.1 BICMOS-INTEGRIERTER MIKROMECHAN
- Seite 39 und 40: 3.1 BICMOS-INTEGRIERTER MIKROMECHAN
- Seite 41 und 42: 3.2 ELEKTROSTATISCH ANGETRIEBENE MI
- Seite 43 und 44: 3.2 ELEKTROSTATISCH ANGETRIEBENE MI
- Seite 45 und 46: 3.3 GELOCHTE PLATTEN UND MEMBRANEN
- Seite 47 und 48: 4 Modellierung gekoppelter Effekte
- Seite 49 und 50: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 51 und 52: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 53 und 54: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 55 und 56: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 57 und 58: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 59 und 60: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 61 und 62: 4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
- Seite 63 und 64: 4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
- Seite 65 und 66: 4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
- Seite 67 und 68: 4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
- Seite 69: 4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
- Seite 73 und 74: 4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
- Seite 75 und 76: 4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
- Seite 77 und 78: 4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
- Seite 79 und 80: 4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
- Seite 81 und 82: Volumenfluß [μl/min] 4.3 FLUID-ST
- Seite 83 und 84: 4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 7
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- Seite 87 und 88: 4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 7
- Seite 89 und 90: 4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
- Seite 91 und 92: 4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
- Seite 93 und 94: 4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
- Seite 95 und 96: 4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
- Seite 97 und 98: olysilicon membrane 4.4 ANALYSE UND
- Seite 99 und 100: 4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
- Seite 101 und 102: 4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
- Seite 103 und 104: 5 Modellierung auf Systemebene 5.1
- Seite 105 und 106: 5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
- Seite 107 und 108: 5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
- Seite 109 und 110: 5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
- Seite 111 und 112: 5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
- Seite 113 und 114: 5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
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6 Zusammenfassung und Ausblick Um d
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integrierte mikromechanische Drucks
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effiziente und dennoch detailgetreu
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Ausblick Ausgehend von den in diese
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Appendix Symbolverzeichnis Der bess
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APPENDIX 165 Kapitel 4 Kapitel 4.1
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APPENDIX 167 Symbol Bedeutung ¤
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APPENDIX 169 Symbol Bedeutung � I
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Literaturverzeichnis [1] ABAQUS, Hi
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LITERATURVERZEICHNIS 173 [28] R. B.
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LITERATURVERZEICHNIS 175 [56] R. H.
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LITERATURVERZEICHNIS 177 [84] NEXUS
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LITERATURVERZEICHNIS 179 [111] S. S
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LITERATURVERZEICHNIS 181 [140] P. V
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LITERATURVERZEICHNIS 183 [165] O. Z
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Mein Dank ... gilt allen, die zum G