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Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

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4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKTE 39<br />

genz erreicht ist (siehe Abb. 4.3). Man spricht hier von ” äußerer Iteration“ im Gegensatz<br />

zur ” <strong>in</strong>neren Iteration“, die zur Lösung der e<strong>in</strong>zelnen Teilprobleme durchgeführt wird.<br />

Der Vorteil dieser Methode ist, daß bestehende, für die jeweilige physikalische Domäne<br />

speziell entwickelte und damit problemangepaßte Simulatoren e<strong>in</strong>gesetzt werden können.<br />

Diese werden <strong>in</strong> e<strong>in</strong>em leicht zu implementierenden Iterationsalgorithmus nache<strong>in</strong>ander<br />

<strong>auf</strong>gerufen, ohne daß der Benutzer sich um die Verfahren zur Lösung der Teilprobleme<br />

kümmern muß ( ” Black Box Plug-<strong>in</strong> Methode“). Da dieser Ansatz leicht und schnell zu<br />

realisieren ist, f<strong>in</strong>det er große Verbreitung und ist auch <strong>in</strong> zahlreichen kommerziell erhältlichen<br />

Programmen zur Behandlung <strong>gekoppelter</strong> Probleme implementiert (z.B. elektromechanische<br />

Kopplung <strong>in</strong> INTELLISENSE [61], MEMCAD [78], SOLIDIS [120]). Im<br />

Falle straffer Kopplung, die beispielsweise <strong>in</strong> elektrostatisch betriebenen Bauelementen<br />

im Bereich großer Spannungen oder bei <strong>in</strong> Fluiden bewegten mikromechanischen Strukturen<br />

vorliegt, weist diese Methode allerd<strong>in</strong>gs Konvergenzschwierigkeiten <strong>auf</strong>. Durch die<br />

Wahl e<strong>in</strong>es effizienten und robusten Algorithmus zur Ausführung der äußeren Iteration<br />

kann dieses Problem gemildert werden. Die bekanntesten und daher am häufigsten verwendeten<br />

Verfahren s<strong>in</strong>d Gauß-Seidel-artige Relaxationsverfahren, sukzessive Überrelaxation<br />

(SOR), Newton- und Homotopie-Verfahren. Für Details sei <strong>auf</strong> die grundlegende<br />

Literatur zu numerischen Methoden verwiesen, z.B. [8, 49, 108], die Grundzüge der genannten<br />

Methoden sowie ihre Vor- und Nachteile sollen im folgenden aber kurz vorgestellt<br />

werden. Betrachtet werde das gekoppelte Problem:<br />

Durch Elim<strong>in</strong>ation des Vektors � erhält man die Beziehung<br />

¡ £ � � ¡<br />

¡ ¢ £ � (4.1)<br />

�<br />

¡���£ �¤£ mit � £ � ¡¥¡�£¦¢ £ � ��§<br />

(4.2)<br />

welche gleichzeitig die Fixpunktform e<strong>in</strong>es algebraischen Gleichungssystems darstellt.<br />

Die Lösung ¨§ dieses Problems läßt sich mit © Hilfe e<strong>in</strong>es Iterationsverfahrens nach der<br />

��� � �<br />

Iterationsvorschrift<br />

�<br />

�� ¡<br />

(4.3)<br />

©<br />

��<br />

¡<br />

£<br />

erhalten, ©<br />

§ � ¡ §�� ��£ § � ¡ §<br />

wobei gilt: .<br />

Das Konvergenzverhalten des Iterationsverfahrens kann mit Hilfe des Fixpunktsatzes abgeschätzt<br />

werden. Demnach konvergiert das Verfahren gegen den Fixpunkt § , falls gilt:<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�<br />

©<br />

�<br />

�<br />

�<br />

�<br />

������� �<br />

Verfahren, bei denen diese Bed<strong>in</strong>gung <strong>auf</strong> dem gesamten Def<strong>in</strong>itionsbereich des Problems<br />

erfüllt ist, heißen global konvergent“.<br />

”<br />

�<br />

(4.4)<br />

Gauß-Seidel-Relaxationsverfahren: Das e<strong>in</strong>fachste und daher sehr häufig angewendete<br />

Iterationsverfahren ist das Gauß-Seidel-Relaxationsverfahren. Die Iterationsvorschrift<br />

� � �<br />

�<br />

� £ � ¡�¡ £¦¢ £ ����§<br />

lautet:<br />

¡<br />

(4.5)<br />

¡

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