Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

Mein Dank ...
gilt allen, die zum Gelingen dieser Arbeit beigetragen haben.
An erster Stelle danke ich meinem Doktorvater Prof. Dr. Gerhard Wachutka, der mich
durch die Bereitstellung einer guten Infrastruktur, durch die Möglichkeit zur Mitarbeit in
interessanten und herausfordernden Projekten sowie durch Rat und Tat jederzeit fachlich
wie auch mental in meiner Arbeit am Institut unterstützt hat. Seine unkonventionelle und
pragmatische Einstellung ermöglichte es, den Spagat zwischen Familie und Beruf zu verringern
und schuf ein Umfeld für produktives Arbeiten in angenehmer Atmosphäre. Herrn
Prof. Dr. Ignaz Eisele danke ich für sein Interesse an meiner Arbeit und die Übernahme
des Zweitgutachtens.
Ein großer Dank gilt allen Mitarbeitern des Lehrstuhls für Technische Elektrophysik. Die
Arbeit am Lehrstuhl wird mir durch die angenehme und kollegiale Atmosphäre in guter
Erinnerung bleiben. Besonders erwähnen möchte ich meinen langjährigen Zimmergenossen
und Mitstreiter auf der MEMS-Strecke Peter Voigt – viele anregende Diskussionen
und Gespräche sowie fruchtbarer fachlicher Austausch schufen die Basis für eine
angenehme und produktive Arbeit und eine Vielzahl an gemeinsamen Ergebnissen und
Veröffentlichungen – und die übrigen Mitglieder der ” Doktorandencrew der ersten Stunde“,
Martin Lades, Eva-Renate König und Robert Thalhammer, die durch ihren Teamgeist
über die Anfangsturbulenzen und die Durststrecken bei der Neuordnung des Lehrstuhls
hinweggeholfen haben.
Vielen Dank auch an meine Kooperationspartner bei der Infineon Technologies AG,
München, Dr. C. Hierold, Dr. R. Aigner, Dr. T. Scheiter, Dr. H. Kapels, K. Oppermann
und M. Füldner, sowie beim Fraunhoferinstitut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration
München (ehemals: Fraunhoferinstitut für Festkörpertechnologie) für die Bereitstellung
von Demonstratoren und Meßergebnissen sowie die Unterstützung bei den Messungen.
In diesem Zusammenhang möchte ich auch meinen beiden Diplomanden Gerhard Zelder
und Rainer Bartl für ihre Beiträge zu dieser Arbeit danken. Die Zusammenarbeit mit
ihnen ist mir in guter Erinnerung geblieben.
Ein besonderer Dank gebührt den fleißigen Korrekturlesern dieser Arbeit, Eva-
Renate König, Andreas Mayr, Robert Sattler und allen voran Anton Horn und Gerhard
Groos, die mit ihren wertvollen und kritischen Bemerkungen wesentlich zum Gelingen
dieser Arbeit beigetragen haben.
Last but not least ein ganz herzliches Dankeschön an meine Familie und Freunde, die
mich, besonders in der Endphase der Arbeit, tatkräftig wie auch mental unterstützt haben,
speziell an meinen Sohn Max, der mich in dieser Zeit bei so mancher Unternehmung am
Wochenende entbehren mußte. Besonders danken möchte ich in diesem Zusammenhang
meinem Mann Gerhard Groos, der es mir durch seine Unterstützung und seinen Rückhalt
ermöglicht hat, meiner Arbeit effektiv und mit (meist) freiem Kopf nachgehen zu können.