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Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

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180 LITERATURVERZEICHNIS<br />

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(1996), S. 379–385.<br />

[130] B. VAN DER SCHOOT, S. JEANNERET, A. VAN DEN BERG UND N. DE ROJI, A<br />

silicon <strong>in</strong>tegrated m<strong>in</strong>iature chemical analysis system, Sensors and Actuators B, 6<br />

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Transducers: A General Thermodynamic Systems Approach, Sensors and Actuators<br />

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[135] T. VEIJOLA, H. KUISMA, J. LADENPERÄ UND T. RYHÄNEN, Equivalent-circuit<br />

model of the squeezed gas film <strong>in</strong> a silicon accelerometer, Sensors and Actuators<br />

A, 48 (1995), S. 239–248.<br />

[136] T. VEIJOLA, K. RUOKONEN UND I. TITTONEN, Compact Model for Squeeze Film<br />

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and Simulation of Microsystems (MSM’01), Hilton Head Island, SC, March 19–<br />

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[137] S. VEMURI, G. K. FEDDER UND T. MUKHERJEE, Low-order Squeeze Film ¨�� Model<br />

for Simulation of MEMS Devices, <strong>in</strong> Proc. of 3 Int. Conf. on Model<strong>in</strong>g and Simulation<br />

of Microsystems (MSM’00), San Diego, CA, March 27–29, 2000, S. 205–<br />

208.<br />

[138] G. VENOS, ” Mikromechanische Sensoren <strong>in</strong> Airbag-Anwendungen“. Sem<strong>in</strong>arvortrag<br />

am Lehrstuhl für Techn. Elektrophysik, Technischen Universität München, Juli<br />

2000.<br />

[139] P. VOIGT, Compact Model<strong>in</strong>g of Microsystems, Dissertation, Technische Universität<br />

München, München, 2002.

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