Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

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Fakultät für Elektrotechnik und I
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Zusammenfassung Mikrosysteme werden
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Abstract The progressing miniaturiz
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Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung ¡
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INHALTSVERZEICHNIS VII 5.3.3 Unters
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1 Einleitung Mikrosystemtechnik: ei
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Entwurf und Modellierung von Mikros
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lem, die Kopplung zu parasitären E
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2 Modellierung von Mikrosystemen Di
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2.1 ANFORDERUNGEN AN DIE SIMULATION
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2.2 GRUNDLEGENDER ANSATZ ZUR MODELL
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2.2 GRUNDLEGENDER ANSATZ ZUR MODELL
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Sfrag replacements 2.2 GRUNDLEGENDE
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2.3 SIMULATIONSWERKZEUGE 17 physika
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2.3 SIMULATIONSWERKZEUGE 19 beispie
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3 Funktionsweise und meßtechnische
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3.1 BICMOS-INTEGRIERTER MIKROMECHAN
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3.2 ELEKTROSTATISCH ANGETRIEBENE MI
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3.2 ELEKTROSTATISCH ANGETRIEBENE MI
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3.3 GELOCHTE PLATTEN UND MEMBRANEN
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4 Modellierung gekoppelter Effekte
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4.1 MODELLIERUNG GEKOPPELTER EFFEKT
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4.2 ELEKTROMECHANISCH GEKOPPELTE PR
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4.3 FLUID-STRUKTUR-WECHSELWIRKUNG 6
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Volumenfluß [μl/min] 4.3 FLUID-ST
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4.4 ANALYSE UND ELIMINIERUNG VON PA
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olysilicon membrane 4.4 ANALYSE UND
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5 Modellierung auf Systemebene 5.1
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5.1 GRUNDLAGEN DER SYSTEMSIMULATION
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5.2 MAKROMODELLIERUNG MIT KONZENTRI
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5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
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Seite 139 und 140: 5.3 SQUEEZE-FILM-DÄMPFUNG IN MIKRO
Seite 145 und 146: 5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIE
Seite 167 und 168: 6 Zusammenfassung und Ausblick Um d
Seite 169 und 170: integrierte mikromechanische Drucks
Seite 171 und 172: effiziente und dennoch detailgetreu
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