20.12.2012 Aufrufe

Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

MEHR ANZEIGEN
WENIGER ANZEIGEN

Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.

YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.

174 LITERATURVERZEICHNIS<br />

[43] L. GABBAY, J. MEHNER UND S. SENTURIA, Computer-Aided Generation of Nonl<strong>in</strong>ear<br />

Reduced-Order Dynamic Macromodels–I: Non-Stress-Stiffened Case, J. of<br />

Microelectromechanical Systems, 9, No. 2 (2000), S. 262–269.<br />

[44] L. GABBAY UND S. SENTURIA, Automatic generation of dynamic macro-models<br />

us<strong>in</strong>g quasistatic simulations <strong>in</strong> comb<strong>in</strong>ation with modal analysis, <strong>in</strong> Proc. Solid-<br />

State Sensor & Actuator Workshop, Hilton Head, SC, 1998, S. 197–220.<br />

[45] J. GILBERT, R. LENGENBERG UND S. SENTURIA, 3D coupled electromechanics<br />

for MEMS: application of CoSolve-EM, <strong>in</strong> Proc. of Int. Workshop on Micro Electro<br />

Mechanical Systems 1995 (MEMS’95), Amsterdam, Netherlands, Jan. 1995,<br />

S. 122–127.<br />

[46] W. GREINER UND H. STOCK, Theoretische Physik, Band 2A (Hydrodynamik),<br />

Harri-Deutsch-Verlag, Frankfurt am Ma<strong>in</strong>, 1991.<br />

[47] W. S. GRIFFIN, H. H. RICHARDSON UND S. YAMANAMI, A Study of Fluid<br />

Squeeze-Film Damp<strong>in</strong>g, ASME Journal of Basic Eng<strong>in</strong>eer<strong>in</strong>g, (June 1966), S. 451–<br />

456.<br />

[48] W. GROSS, Fluid Film Lubrication, Wiley & Sons, New York, 1981.<br />

[49] C. GROSSMANN UND H.-G. ROOS, Numerik partieller Differentialgleichungen,<br />

B.G. Teubner Verlagsgesellschaft, Stuttgart, Leipzig, 1994.<br />

[50] A. GROVE, Physics and Technology of Semiconductor Devices, Wiley & S., New<br />

York, 1967.<br />

[51] B. J. HAMROCK, Fundamentals of Fluid Film Lubrication, McGraw-Hill Inc.,<br />

1994.<br />

[52] M. HANDTMANN, R. AIGNER, A. MECKES UND G. WACHUTKA, Sensitivity<br />

enhancement of MEMS <strong>in</strong>ertial sensors us<strong>in</strong>g negative spr<strong>in</strong>gs and active control,<br />

<strong>in</strong> Proc. of 4 ���<br />

Int. Conference on Model<strong>in</strong>g and Simulation of Microsystems<br />

(MSM’01), March 19–21, 2001, S. 64–67.<br />

[53] M. HANDTMANN, R. AIGNER, R. NADAL UND G. WACHUTKA,<br />

�<br />

Methodology<br />

¢<br />

of<br />

Macromodel<strong>in</strong>g Demonstrated ¢<br />

on Force Feedback -Architectures, <strong>in</strong> ¨�� Proc. of<br />

3 Int. Conference on Model<strong>in</strong>g and Simulation of Microsystems (MSM’00), San<br />

Diego, CA, March 27–29, 2000, S. 138–141.<br />

[54] A. HEUBERGER, Mikromechanik, Spr<strong>in</strong>ger Verlag, Berl<strong>in</strong>, 1991.<br />

[55] C. HIEROLD, B. CLASBRUMMEL, D. BEHREND, T. SCHEITER, M. STEGER,<br />

K. OPPERMANN, H. KAPELS, E. LANDGRAF, D. WENZEL UND D. ETZRODT,<br />

Low power <strong>in</strong>tegrated pressure sensor system for medical applications, Sensors<br />

and Actuators A, 73 (1999), S. 58–67.

Hurra! Ihre Datei wurde hochgeladen und ist bereit für die Veröffentlichung.

Erfolgreich gespeichert!

Leider ist etwas schief gelaufen!