Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...
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168 APPENDIX<br />
Symbol Bedeutung<br />
£<br />
¦<br />
Rückstellkraft<br />
¡<br />
§¦¥ � £ £ �<br />
, Biegel<strong>in</strong>ie der Membran<br />
� ¢<br />
Mittenauslenkung der Membran<br />
Boltzmannkonstante<br />
�<br />
�<br />
effektive Membranlänge<br />
�<br />
�<br />
Membranlänge<br />
�<br />
¨ �<br />
¢ Länge im Ventil, entlang der der Druckabfall erfolgt<br />
�<br />
�<br />
�<br />
Abstand Ventilklappenmitte – Auflagepunkt des Ventils<br />
�� �<br />
¨<br />
� gesamter Umfang des Ventilsitzes<br />
¡<br />
�<br />
Donator- bzw. Akzeptorkonzentration<br />
� �<br />
Druck<br />
Elementarladung<br />
�<br />
�<br />
� Ladungsträgerdichte im Kanal<br />
�<br />
Ladung<br />
¢<br />
¤ Grenzflächenladung<br />
¢<br />
�<br />
Temperatur<br />
� normiertes Bulkpotential<br />
£<br />
¡ normiertes Oberflächenpotential<br />
£<br />
elektrische Spannung<br />
Schwellspannung<br />
���<br />
¥ �<br />
Mittenauslenkung der Ventilklappe<br />
�<br />
� Massenfluß<br />
©<br />
¡ relative Dielektrizitätskonstante von Silizium<br />
¦<br />
Dielektrizitätskonstante des Vakuums<br />
¦<br />
<strong>in</strong>tr<strong>in</strong>sische Debeyelänge<br />
��<br />
Poissonzahl<br />
�<br />
Ladungsträgerdichte<br />
�<br />
Kapitel 5.3 und 5.4<br />
Symbol Bedeutung<br />
Fläche<br />
�<br />
� Gesamtfläche Löcher<br />
�<br />
¢ � Gesamtfläche Platte<br />
�<br />
¢<br />
Balkenbreite<br />
¢<br />
Plattenbreite<br />
¢<br />
Lochabmessung<br />
£<br />
�<br />
£<br />
Plattenabstand<br />
hydraulischer Durchmesser<br />
£<br />
�<br />
� Plattendicke<br />
¢<br />
£<br />
Balkendicke<br />
¡
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