Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...
Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...
Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Appendix<br />
Symbolverzeichnis<br />
Der besseren Übersicht halber werden die verwendeten Symbole und ihre Bedeutung kapitelweise<br />
<strong>auf</strong>gelistet. Doppelbelegungen mancher Symbole lassen sich nicht immer vermeiden,<br />
wenn gebräuchliche Konventionen e<strong>in</strong>gehalten werden sollen, die entsprechende<br />
Bedeutung der Symbole geht an den betreffenden Stellen aber e<strong>in</strong>deutig aus dem Textzusammenhang<br />
hervor.<br />
Kapitel 2<br />
Kapitel 2.2<br />
Symbol Bedeutung<br />
�<br />
magnetische Induktion<br />
�<br />
Wärmekapazität des Substrats<br />
�<br />
�<br />
Tensor der elastischen<br />
� �<br />
Konstanten<br />
Teilchenzahlkonzentration der Teilchenart k<br />
Vektor der dielektrischen Verschiebungsdichte<br />
�<br />
elektrischer Feldstärkevektor<br />
�<br />
�<br />
Tensor der piezoelektrischen ¡ £<br />
Konstanten<br />
mechanische Kraft<br />
verallgeme<strong>in</strong>erte Kraft (ortsabhängige<br />
�<br />
Variable)<br />
magnetischer Feldstärkevektor<br />
elektrischer Strom<br />
£ ¤� ¡<br />
Energiestromdichte der Teilchenart k<br />
Teilchenstromdichte der Teilchenart k<br />
� �<br />
Matrix e<strong>in</strong>zelner<br />
�<br />
Transportkoeffizienten<br />
Gesamtmatrix aller Transportkoeffizienten<br />
Masse<br />
¤<br />
Elemente der Zustandsmatrix<br />
�<br />
verallgeme<strong>in</strong>erter Fluß (ortsabhängige Variable)<br />
¡<br />
Boltzmannkonstante<br />
�����<br />
���<br />
�<br />
Elektronenkonzentration<br />
£<br />
£������¢ <strong>in</strong>tr<strong>in</strong>sische Elektronen-, bzw. Löcherkonzentration<br />
£¥�����