Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...
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Appendix<br />
Symbolverzeichnis<br />
Der besseren Übersicht halber werden die verwendeten Symbole und ihre Bedeutung kapitelweise<br />
<strong>auf</strong>gelistet. Doppelbelegungen mancher Symbole lassen sich nicht immer vermeiden,<br />
wenn gebräuchliche Konventionen e<strong>in</strong>gehalten werden sollen, die entsprechende<br />
Bedeutung der Symbole geht an den betreffenden Stellen aber e<strong>in</strong>deutig aus dem Textzusammenhang<br />
hervor.<br />
Kapitel 2<br />
Kapitel 2.2<br />
Symbol Bedeutung<br />
�<br />
magnetische Induktion<br />
�<br />
Wärmekapazität des Substrats<br />
�<br />
�<br />
Tensor der elastischen<br />
� �<br />
Konstanten<br />
Teilchenzahlkonzentration der Teilchenart k<br />
Vektor der dielektrischen Verschiebungsdichte<br />
�<br />
elektrischer Feldstärkevektor<br />
�<br />
�<br />
Tensor der piezoelektrischen ¡ £<br />
Konstanten<br />
mechanische Kraft<br />
verallgeme<strong>in</strong>erte Kraft (ortsabhängige<br />
�<br />
Variable)<br />
magnetischer Feldstärkevektor<br />
elektrischer Strom<br />
£ ¤� ¡<br />
Energiestromdichte der Teilchenart k<br />
Teilchenstromdichte der Teilchenart k<br />
� �<br />
Matrix e<strong>in</strong>zelner<br />
�<br />
Transportkoeffizienten<br />
Gesamtmatrix aller Transportkoeffizienten<br />
Masse<br />
¤<br />
Elemente der Zustandsmatrix<br />
�<br />
verallgeme<strong>in</strong>erter Fluß (ortsabhängige Variable)<br />
¡<br />
Boltzmannkonstante<br />
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���<br />
�<br />
Elektronenkonzentration<br />
£<br />
£������¢ <strong>in</strong>tr<strong>in</strong>sische Elektronen-, bzw. Löcherkonzentration<br />
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