Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...
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5.4 MIXED-LEVEL-ANSATZ ZUR MODELLIERUNG VON SQFD 153<br />
tiven Viskosität zusammengefaßt werden können (s. Kapitel 5.3.1). Auch für die FEM-<br />
Rechnungen, denen die Navier-Stokes-Gleichung zugrundeliegt, wurde <strong>in</strong> dieser Arbeit<br />
e<strong>in</strong>e effektive Viskosität angenommen. Der Beziehung für diese effektive Viskosität liegen<br />
aber dieselben geometrischen Voraussetzungen zugrunde, die auch für die Ableitung<br />
der klassischen Reynoldsgleichung angenommen werden, also sehr große laterale<br />
Ausdehnung der Strukturen im Vergleich zur Höhe des darunterliegenden Fluidfilms.<br />
Bis dato wird <strong>in</strong> der Mikrosystemtechnik der E<strong>in</strong>fachheit halber meist dieser Ansatz –<br />
speziell der Ausdruck für die effektive Viskosität aus [135] – verwendet, er muß aber<br />
für andere geometrische Gegebenheiten, wie beispielsweise für Strukturen, die viele<br />
Perforationen enthalten, theoretisch fundiert überprüft werden.<br />
Nach den ersten erfolgreichen Anwendungen des entwickelten Mixed-Level-Ansatzes ersche<strong>in</strong>en<br />
besonders die drei Punkte am Anfang dieses Ausblicks für e<strong>in</strong>e breite Anwendung<br />
<strong>in</strong> der Praxis sehr vielversprechend, daher sollte ihre Umsetzung möglichst umgehend<br />
<strong>in</strong> Angriff genommen werden. Der Themenbereich ” verdünnte Gase“ ist von sehr<br />
grundlegender Natur und könnte daher e<strong>in</strong>e umfangreiche, weiterführende Arbeit notwendig<br />
machen, <strong>in</strong> der bereits bestehende Ansätze für die speziellen Gegebenheiten <strong>in</strong><br />
der Mikrosystemtechnik theoretisch und vor allem auch experimentell überprüft und weiterentwickelt<br />
werden sollten.