Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

144 5 MODELLIERUNG AUF SYSTEMEBENE
(a)
(b)
U[V]
[ μm]
dh [ μm]
(c)
(d)
6
4
2
0
−0.1
dh
0
−0.05
[ μm]
dh
0
−0.05
U(t)
0
0 0.2
0 0.2
0.1 0.15
0.1 0.15
v0
v4_6
t [ms]
t [ms]
t [ms]
p=0,1bar
t [ms]
* *
p=1bar
p=0,1bar
p=10mbar
p=1mbar
* * v4_6
v0
v2_8
v2_3
��� �
Abbildung 5.36: Ergebnisse der Systemsimulation für das in Abb. 5.34 dargestellte Testsystem:
An das System wurde ein pulsartiger Spannungsverlauf angelegt (a). Die Graphen
b und c zeigen den zeitlichen Verlauf der Plattenauslenkung dh(t) für die ungelochte
Platte (b) und die perforierte Platte (c) für Umgebungsdrücke � zwischen 1 mbar
§ �
und 1 bar. In Graph d werden Auslenkungen verschieden perforierter Platten bei gleichem
Umgebungsdruck ( � � § § ¡
mbar) verglichen. Die Dämpfung des Systems läßt sich mit
solchen Untersuchungen für die jeweilige Anwendung geeignet dimensionieren.