Modellierung gekoppelter Effekte in Mikrosystemen auf ...

98 5 MODELLIERUNG AUF SYSTEMEBENE
in [139], wo PCA zur Bestimmung angepaßter Basisfunktionen für einen mikromechanischen
Beschleunigungssensor angewendet wird.
Vorteile der Methode, die Dynamik des Systems durch eine Zerlegung nach Basisfunktionen
zu beschreiben, sind, daß sie universell, d.h. auf viele Problemstellungen anwendbar
sowie standardisierbar und somit auch automatisierbar ist. Sie kann damit in ihrem gesamten
Ablauf in eine bestehende Simulationsumgebung integriert werden. Dies wurde in
[42] für elektromechanische Systeme demonstriert. Einen großen Rechenaufwand stellen
allerdings die gekoppelten Simulationen auf kontinuierlicher Feldebene dar, die für einen
typischen Satz an Betriebszuständen im relevanten Teil des Konfigurationsraums durchgeführt
werden müssen, um entweder Basisfunktionen oder Energiefunktionale bestimmen
zu können. Da sich die resultierenden Kompaktmodelle allenfalls linear, aber nicht
allgemein extrapolieren lassen, muß diese Prozedur bei Variation von Designparametern
wie z.B. Geometrievariationen in der Regel erneut durchgeführt werden, was einen hohen
Rechenaufwand erfordert. Der Reiz der Methode liegt allerdings in ihrem theoretisch fundierten
und universellen konzeptionellen Ansatz, so daß sich zeigen muß, ob sie sich in
Richtung standardisierter Ableitung von Kompaktmodellen über die bereits vorgestellten
Beispiele [42, 43, 44, 53, 58, 59, 132, 139] hinaus auch für den universellen Gebrauch in
Standardsimulationsumgebungen ausbauen läßt.