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Produkte gezielt veredeln und optimieren<br />

4<br />

PLAsMA-<br />

OberFLächentechnIk<br />

Plasma-Oberflächentechnik<br />

Der Begriff „Plasma“ wurde 1928 von Irving Langmuir zuerst definiert<br />

[Lan28]. Seitdem entwickelten Forscher in Wissenschaft und<br />

Industrie eine Vielzahl von plasmabasierten Prozessen, von denen<br />

einige nicht nur industriell etabliert sind, sondern auch zu nachhaltigen<br />

Neuerungen des täglichen Lebens beigetragen haben. Die prominentesten<br />

darunter sind vermutlich Plasmaprozesse in der Halbleitertechnik<br />

zur Chipherstellung, in der Photovoltaik zur Produktion<br />

von Solarzellen oder in der Automobiltechnik zur tribologischen<br />

Optimierung von Motorkomponenten. Ende der 90er Jahre lag der<br />

Umsatz deutscher Betriebe in der Plasmatechnologie jährlich bei<br />

rund einer Milliarde Euro. Bis 2008 wuchs das Umsatzvolumen<br />

trotz Wirtschaftskrise auf 1,6 Milliarden Euro [NN10].<br />

Oftmals entsprechen Bauteileigenschaften nicht vollständig den gewünschten<br />

Anforderungen, so dass erst durch oberflächenveredelnde<br />

Maßnahmen das gewünschte Eigenschaftsspektrum bzw. die<br />

gewünschte Produktqualität erreicht werden kann. Die gängigen<br />

Verfahren wie Galvanisieren oder Lackieren werden zunehmend<br />

durch plasmabasierte Verfahren ergänzt. Die Plasma-Oberflächentechnik<br />

wird hierbei vermutlich am häufigsten verwendet, um die<br />

Oberflächenspannung eines Werkstoffs zu modifizieren. Korona-<br />

oder Barriere-Entladungen werden standardmäßig bei der Aktivie-

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