FFD IM - Freudenberg Forschungsdienste SE & Co. KG
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4<br />
PLAsMA-<br />
OberFLächentechnIk<br />
Plasma-Oberflächentechnik<br />
Der Begriff „Plasma“ wurde 1928 von Irving Langmuir zuerst definiert<br />
[Lan28]. Seitdem entwickelten Forscher in Wissenschaft und<br />
Industrie eine Vielzahl von plasmabasierten Prozessen, von denen<br />
einige nicht nur industriell etabliert sind, sondern auch zu nachhaltigen<br />
Neuerungen des täglichen Lebens beigetragen haben. Die prominentesten<br />
darunter sind vermutlich Plasmaprozesse in der Halbleitertechnik<br />
zur Chipherstellung, in der Photovoltaik zur Produktion<br />
von Solarzellen oder in der Automobiltechnik zur tribologischen<br />
Optimierung von Motorkomponenten. Ende der 90er Jahre lag der<br />
Umsatz deutscher Betriebe in der Plasmatechnologie jährlich bei<br />
rund einer Milliarde Euro. Bis 2008 wuchs das Umsatzvolumen<br />
trotz Wirtschaftskrise auf 1,6 Milliarden Euro [NN10].<br />
Oftmals entsprechen Bauteileigenschaften nicht vollständig den gewünschten<br />
Anforderungen, so dass erst durch oberflächenveredelnde<br />
Maßnahmen das gewünschte Eigenschaftsspektrum bzw. die<br />
gewünschte Produktqualität erreicht werden kann. Die gängigen<br />
Verfahren wie Galvanisieren oder Lackieren werden zunehmend<br />
durch plasmabasierte Verfahren ergänzt. Die Plasma-Oberflächentechnik<br />
wird hierbei vermutlich am häufigsten verwendet, um die<br />
Oberflächenspannung eines Werkstoffs zu modifizieren. Korona-<br />
oder Barriere-Entladungen werden standardmäßig bei der Aktivie-