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Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

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5.3 Reversible <strong>Elektromigration</strong> <strong>in</strong> <strong>Gold</strong>leiterbahnen 85<br />

“Stabilisierung” “Degradation”<br />

Abb. 5.15: Zeitliche Entwicklung des Widerstandes der Leiterbahn aus Abb. 5.13. Neben dem<br />

Wechsel der Polarität alle 50 Sek<strong>und</strong>en (siehe die exemplarischen Pfeile) erkennt man bis ca.<br />

zur Hälfte des Experimentes e<strong>in</strong>e wesentliche Abnahme des Widerstandes der Leiterbahn. Nach<br />

etwa der Hälfte der Lebensdauer steigt der Widerstand bis zum Ausfall an. Der rot umrandete<br />

Bereich wird <strong>in</strong> Abb. 5.16 detaillierter untersucht.<br />

sehr genau mit dem Anfangswert des Widerstands übere<strong>in</strong>stimmt. Lokal betrachtet er-<br />

kennt man den Wechsel der Polarität alle 50 Sek<strong>und</strong>en, wie es die exemplarischen Pfeile<br />

bei 50, 100 <strong>und</strong> 150 Sek<strong>und</strong>en <strong>in</strong> Abb. 5.15) andeuten.<br />

E<strong>in</strong>e Abnahme des Widerstandes wurde bereits für die Gleichstrommessungen gefun-<br />

den <strong>und</strong> mit Relaxationen <strong>in</strong>nerhalb der Leiterbahn begründet. Die Größe der Wider-<br />

standsabnahme beträgt bei Gleichstromexperimente ca. 2 %. Durch die Umkehrung des<br />

Stromflusses werden diese Ausheileffekte verstärkt, so dass es zu e<strong>in</strong>em größeren Ab-<br />

s<strong>in</strong>ken des Widerstandes kommt. Bei weiteren Polaritätswechseln nimmt dieser Effekt<br />

schließlich ab, bis der Widerstand der Leiterbahn e<strong>in</strong> M<strong>in</strong>imum erreicht. Die gesamte<br />

Widerstandsabnahme im Fall e<strong>in</strong>es reversiblen <strong>Elektromigration</strong>sexperimentes beträgt<br />

damit ca. 10 %.<br />

In Abb. 5.16 ist der Bereich der Widerstandsabnahme mit dem Begriff Stabilisierung<br />

umschrieben. Das M<strong>in</strong>imum des Widerstands wird hier zeitlich etwa zur Hälfte der<br />

Lebensdauer der Leiterbahn erreicht. Da aufgr<strong>und</strong> der begrenzten Messzeit nur wenige<br />

Experimente dieser Art durchgeführt worden s<strong>in</strong>d, ist diese Aussage statistisch nicht<br />

belastbar. Das <strong>in</strong> Abb. 5.16 beobachtete Widerstandsverhalten wurde jedoch mehrfach<br />

beobachtet. Nach dem M<strong>in</strong>imum beg<strong>in</strong>nt die Phase der Degradation <strong>und</strong> der Widerstand<br />

nimmt aufgr<strong>und</strong> des weiteren Porenwachstums zu, wobei auch <strong>in</strong>nerhalb e<strong>in</strong>es Intervalls<br />

stärkere Änderungen im Widerstand beobachtet werden. Inwieweit sich die elektrischen

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