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Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

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82 5. Ergebnisse <strong>und</strong> Diskussion: <strong>Gold</strong>leiterbahnen<br />

a<br />

500 nm<br />

0048 sek.<br />

b<br />

0096 sek.<br />

c<br />

1152 sek.<br />

d<br />

1200 sek.<br />

e<br />

1252 sek.<br />

f<br />

Abb. 5.13: Die REM-Aufnahmen zeigen e<strong>in</strong>e polykristall<strong>in</strong>e <strong>Gold</strong>leiterbahn zu verschiedenen<br />

Zeiten e<strong>in</strong>es Experiments zur reversiblen <strong>Elektromigration</strong>. Das Teilbild a) zeigt die Leiterbahn<br />

zu Beg<strong>in</strong>n des Experiments. Die Bilder b) bis f) wurden am Ende e<strong>in</strong>es Intervalls von jeweils 50<br />

Sek<strong>und</strong>en aufgenommen, <strong>in</strong> welchem die Elektronen aus der mit Pfeilen angegebenen Richtung<br />

geflossen s<strong>in</strong>d.<br />

Abb. 5.13 zeigt aus der Videoaufnahme extrahierte E<strong>in</strong>zelbilder, welche zu Beg<strong>in</strong>n<br />

bzw. etwa zur Hälfte des Experiments entstanden s<strong>in</strong>d. Teilbild a) zeigt die Leiterbahn<br />

vor Anlegen der konstanten Stromstärke von 25 mA. Die Zeitangabe <strong>in</strong> Sek<strong>und</strong>en be-<br />

zieht sich auf den Beg<strong>in</strong>n des Stromflusses. Die gelben Pfeile geben die Richtung der<br />

Elektronen an, wobei die Aufnahmen (b) - f)) jeweils am Ende e<strong>in</strong>es Intervalls angefer-<br />

tigt wurden. Das weiße Rechteck <strong>in</strong> den Teilbildern d) bis f) kennzeichnet e<strong>in</strong>en Bereich<br />

der Leiterbahn, der <strong>in</strong> Abb. 5.14 <strong>und</strong> Abb. 5.16 vergrößert dargestellt wird.<br />

Während der <strong>in</strong>-situ Experimente zur reversiblen <strong>Elektromigration</strong> konnte das Ver-<br />

halten von Poren- <strong>und</strong> Hügelbildung studiert werden. Dabei zeigten sich drei verschie-<br />

dene Arten von morphologischen Änderungen <strong>in</strong>nerhalb der Leiterbahnen, welche im<br />

folgenden anhand der Poren beschrieben werden:<br />

1. Poren, welche sich e<strong>in</strong>malig öffnen <strong>und</strong> wieder schließen.<br />

2. Poren, welche sich periodisch öffnen <strong>und</strong> schließen.<br />

e -<br />

e -<br />

e -<br />

e -<br />

e -

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