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Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

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64 5. Ergebnisse <strong>und</strong> Diskussion: <strong>Gold</strong>leiterbahnen<br />

zahlreichen Poren auch die Bildung von e<strong>in</strong>igen Hügeln (siehe weiße Pfeile). Die REM-<br />

Aufnahmen <strong>in</strong> Abb. 5.1 b) - h) zeigen dabei E<strong>in</strong>zelbilder aus e<strong>in</strong>em <strong>in</strong>-situ erstellten<br />

AVI-Film.<br />

Betrachtet man die zeitliche Entwicklung der Leiterbahn, ist zu erkennen, dass es<br />

<strong>in</strong>nerhalb der ersten zwei St<strong>und</strong>en nur zu wenigen morphologischen Änderungen <strong>in</strong> der<br />

Leiterbahn gekommen ist. Die Poren- <strong>und</strong> Hügelbildung erfolgte verteilt über die ge-<br />

samte Leiterbahn, wobei e<strong>in</strong>e Tendenz zu verstärkter morphologischer Änderung an der<br />

Kathodenseite feststellbar ist. E<strong>in</strong>zelne Poren oder Hügel verändern ihre Größe oder<br />

Form nach e<strong>in</strong>er anfänglichen Bildungsphase nicht mehr; andere Poren (wie die kriti-<br />

sche Pore, siehe schwarzen Pfeil) oder Hügel (siehe z. B. die weißen Pfeile) s<strong>in</strong>d laufenden<br />

Veränderungen unterworfen. Wie im zugehörigen Film zu sehen ist, f<strong>in</strong>det die Entwick-<br />

lung der Poren <strong>und</strong> Hügel simultan statt, wobei sich die Poren an der Kathodenseite<br />

bilden. Die Bewegung der Atome erfolgt also von der Kathodenseite <strong>in</strong> Richtung zur<br />

Anodenseite; dies zeigt, dass erwartungsgemäß die W<strong>in</strong>dkraft <strong>in</strong> den polykristall<strong>in</strong>en<br />

<strong>Gold</strong>leiterbahnen überwiegt.<br />

Bezogen auf die Gesamtdauer des Experimentes erfolgt der Ausfall der Leiterbahn<br />

<strong>in</strong>nerhalb e<strong>in</strong>er sehr kurzen Zeitspanne von weniger als e<strong>in</strong>er M<strong>in</strong>ute. Man erkennt <strong>in</strong><br />

Abb. 5.1 (siehe schwarzer Pfeil) e<strong>in</strong>e schlitzförmige Pore, welche sich quer zur Strom-<br />

richtung gebildet hat. Dies ist, wie auch <strong>in</strong> den folgenden Kapiteln dargestellt wird, e<strong>in</strong>e<br />

typische Ersche<strong>in</strong>ung im Ausfallverhalten der <strong>Gold</strong>leiterbahnen. Der Ausfall der Leiter-<br />

bahn erfolgte durch diese kritische Pore, welche sich nach zwei St<strong>und</strong>en gebildet hat.<br />

Dies gibt Gelegenheit, die Entwicklung der Stromdichte an der Position der kritischen<br />

Pore bis zum Durchbruch zu verfolgen (siehe Kap. 5.1.4).<br />

In den folgenden Unterkapiteln wird exemplarisch das Ausfallverhalten dieser Leiter-<br />

bahn untersucht. Dabei wird neben dem Widerstandsverhalten auch die Änderung der<br />

Porenfläche <strong>und</strong> die Entwicklung der Stromdichte analysiert. E<strong>in</strong>e genauere Rechnung<br />

zeigt e<strong>in</strong>e verm<strong>in</strong>derte Energiedissipation an der Position der kritischen Poren.<br />

5.1.2 Darstellung des exemplarischen Widerstandsverhalten<br />

Das Widerstandsverhalten der Leiterbahn aus Abb. 5.1 ist <strong>in</strong> Abb. 5.2 dargestellt. Bei<br />

diesem Experiment ist zu beachten, dass es an drei verschiedenen Tagen durchgeführt<br />

wurde. Unterbrochen wurde das Experiment nach zwei <strong>und</strong> nach fünf St<strong>und</strong>en Gesamt-<br />

dauer. Dies führt beim E<strong>in</strong>schalten der Spannung jeweils zu e<strong>in</strong>er erneuten Thermali-<br />

sierung der Leiterbahn mit dem Substrat. Auf das morphologische Verhalten hat die<br />

Unterbrechung des Experimentes ke<strong>in</strong>en erkennbaren E<strong>in</strong>fluss (siehe auch [173]).

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