12.12.2012 Aufrufe

Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

MEHR ANZEIGEN
WENIGER ANZEIGEN

Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.

YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.

zu e<strong>in</strong>er messbaren Bee<strong>in</strong>flussung des Widerstandes führt. Dieser E<strong>in</strong>fluss äußert sich<br />

<strong>in</strong> periodischen Widerstandsänderungen, die von der Position des Elektronenstrahls <strong>in</strong><br />

Bezug auf die Leiterbahn abhängen. Auf den Gesamtverlauf <strong>und</strong> damit auf die elektro-<br />

migrationsbed<strong>in</strong>gten Änderungen des Widerstandes nimmt dieser Effekt ke<strong>in</strong>en E<strong>in</strong>fluss.<br />

Erstmalig konnten konnten im Rahmen dieser Arbeit Messungen an e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>en,<br />

selbstorgansierten <strong>Silber</strong>drähten mit Abmessungen im Nanometerbereich durchgeführt<br />

werden. Hierzu wurde die Kontaktierung mittels Elektronenstrahllithographie erfolg-<br />

reich an selbstorganisierte Strukturen angepasst. Überraschenderweise f<strong>in</strong>det man bei<br />

den e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>en <strong>Silber</strong>drähten e<strong>in</strong> völlig anderes <strong>Elektromigration</strong>sverhalten als <strong>in</strong><br />

polykristall<strong>in</strong>en <strong>Gold</strong>leiterbahnen. Der Ausfall erfolgt an der Anodenseite, <strong>und</strong> nicht,<br />

wie bei den Metallen üblich, an der Kathodenseite der Leiterbahnen. Der Material-<br />

transport <strong>in</strong> diesem System erfolgt also von der Anode <strong>in</strong> Richtung der Kathode <strong>und</strong><br />

damit entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung der Elektronen.<br />

E<strong>in</strong>e erste Erklärung für dieses Verhalten liegt im Überwiegen der direkten Kraft.<br />

Die Diffusion der Atome erfolgt bei den e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>en <strong>Silber</strong>drähten an der Oberfläche,<br />

<strong>und</strong> wird im wesentlichen auch nicht durch zusätzliche Spannungsabgriffen bee<strong>in</strong>flusst.<br />

Theoretische Arbeiten zeigen, dass sich die W<strong>in</strong>dkraft an der Oberfläche e<strong>in</strong>es Metalls<br />

verm<strong>in</strong>dert. In der Literatur wird weiterh<strong>in</strong> der E<strong>in</strong>fluss von Fremdatomen für e<strong>in</strong>e<br />

Umkehrung der Migrationsrichtung diskutiert. E<strong>in</strong>e abschließende Erklärung für das<br />

beobachtete Verhalten muss diese Arbeit schuldig bleiben. Es gibt aber H<strong>in</strong>weise darauf,<br />

dass dieses Verhalten stark temperaturabhängig ist, so dass zukünftige Messungen e<strong>in</strong><br />

Augenmerk auf den E<strong>in</strong>fluss der Temperatur auf die <strong>Elektromigration</strong>srichtung legen<br />

können.<br />

Für zukünftige Arbeiten ist es daher wünschenswert, die lokale Temperaturverteilung<br />

während der <strong>Elektromigration</strong> zu bestimmen. Hierfür bieten sich aufgr<strong>und</strong> der Dimen-<br />

sionen der verwendeten Leiterbahnen Messungen mit e<strong>in</strong>em Thermo-AFM an. Dieses<br />

Gerät besitzt e<strong>in</strong>e laterale Auflösung im Bereich von ≃ 100 nm mit der es möglich ist,<br />

die Temperatur (-erhöhung) zu bestimmen. Hiermit kann dann die Temperaturerhöhung<br />

<strong>in</strong> der Nähe e<strong>in</strong>zelner Poren untersucht werden. Erste Versuche hierzu haben qualitativ<br />

gezeigt, dass dieses Verfahren anwendbar ist.<br />

Für die Untersuchung der e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>en <strong>Silber</strong>drähte ist es wünschenswert, auf die<br />

Präparation mit Hilfe der EBL zu verzichten. Hierfür müssen die Drähte sowohl <strong>in</strong>-situ<br />

präpariert als auch gemessen werden. Die Möglichkeit hierzu bietet das Nanoprobe (AG<br />

Möller); Sowohl die Präparation als auch die Untersuchungen mittels dreier Rastertun-<br />

nelmikroskopspitzen erfolgen bei diesem Gerät im Ultrahochvakuum. In Zukunft kann<br />

damit geklärt werden, ob <strong>und</strong> welchen E<strong>in</strong>fluss Verunre<strong>in</strong>igungen <strong>und</strong> Fremdatome auf<br />

das <strong>Elektromigration</strong>sverhalten der <strong>Silber</strong>drähte besitzen.<br />

111

Hurra! Ihre Datei wurde hochgeladen und ist bereit für die Veröffentlichung.

Erfolgreich gespeichert!

Leider ist etwas schief gelaufen!