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Elektromigration in Gold und Silber Nanostrukturen

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6.5 E<strong>in</strong>fluss von zusätzlichen Spannungsabgriffen sowie von Kohlenstoffablagerungen103<br />

zwischen Teilbild b) <strong>und</strong> c) lag sie bei 26 Sek<strong>und</strong>en. In den nachfolgenden Intervallen<br />

wurde bei etwa 15 Sek<strong>und</strong>en die Polarität gewechselt <strong>und</strong> gegen Ende des Experimentes<br />

wurde die Intervalllänge auf ca. 40 Sek<strong>und</strong>en gesteigert. Die Stromstärke zu Beg<strong>in</strong>n des<br />

Experimentes betrug ca. 6 · 10 7 A/cm 2 bevor es zu den ersten Schädigungen gekommen<br />

ist. Wie zuvor bei den Messungen zum reversiblen <strong>Elektromigration</strong>sverhalten der po-<br />

lykristall<strong>in</strong>en <strong>Gold</strong>leiterbahnen (siehe Kap. 5.3) erfolgte der Wechsel der Stromrichtung<br />

<strong>in</strong>stantan.<br />

Der Wechsel der Stromrichtung bei dem <strong>in</strong> Abb. 6.4 gezeigten <strong>Silber</strong>draht führt,<br />

ähnlich wie bei den Experimenten an den polykristall<strong>in</strong>en <strong>Gold</strong>leiterbahnen, zu e<strong>in</strong>em<br />

reversiblen morphologischen Verhalten. Es lässt sich allerd<strong>in</strong>gs bereits bei den ersten<br />

zweie<strong>in</strong>halb Mess<strong>in</strong>tervallen beobachten, dass die <strong>Elektromigration</strong>sschädigungen auch<br />

bei den e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>en Drähten nicht vollständig reversibel s<strong>in</strong>d. So bleiben am Ende<br />

e<strong>in</strong>es Intervalls (siehe z. B. Teilbild b) <strong>und</strong> d) <strong>in</strong> Abb. 6.4) deutliche morphologische<br />

Änderungen gegenüber dem Ausgangszustand (Teilbild a)) <strong>in</strong> der Nähe der Kontakte<br />

zurück.<br />

Diese permanenten Änderungen zeigen sich besonders deutlich <strong>in</strong> Teilbild g), welches<br />

kurz vor dem endgültigen Ausfall des Drahtes aufgenommen wurde. In der unmittelbaren<br />

Umgebung der Kontakte bef<strong>in</strong>det sich nahezu ke<strong>in</strong> <strong>Silber</strong> mehr, während man mehr<br />

zur Drahtmitte h<strong>in</strong> die Bildung von Hügeln am helleren Kontrast erkennen kann. Die<br />

Poren <strong>in</strong> der Nähe der Kontakte haben sich im Verlauf des Experiments kont<strong>in</strong>uierlich<br />

vergrößert <strong>und</strong> so zum Ausfall des Drahtes geführt. Dies wird <strong>in</strong> der abschließenden<br />

Diskussion dieses Kapitels näher betrachtet.<br />

6.5 E<strong>in</strong>fluss von zusätzlichen Spannungsabgriffen sowie von<br />

Kohlenstoffablagerungen<br />

Neben der Frage nach der Richtung der <strong>Elektromigration</strong> stellt sich weiterh<strong>in</strong> die Frage,<br />

wo die Diffusion der Atome stattf<strong>in</strong>det. Da es sich bei den <strong>Silber</strong>drähten um e<strong>in</strong> e<strong>in</strong>kris-<br />

tall<strong>in</strong>es System handelt, kann e<strong>in</strong>e Diffusion im Volumen nahezu ausgeschlossen werden.<br />

Für die Diffusion von <strong>Silber</strong> liegt die Aktivierungsenergie für die Volumendiffusion bei<br />

ca. 1, 95 eV <strong>und</strong> für die Korngrenzendiffusion bei ca. 0, 8 − 0, 95 eV . Für die Ober-<br />

flächendiffusion wird e<strong>in</strong> Wert von 0, 3 − 0, 43 eV angegeben [194]. Aufgr<strong>und</strong> fehlender<br />

Korngrenzen ist damit der wahrsche<strong>in</strong>lichste Diffusionsmechanismus die Oberflächen-<br />

diffusion. Diese wird dabei weder von Kohlenstoffablagerungen noch von zusätzlichen<br />

Spannungsabgriffen beh<strong>in</strong>dert, wie im folgenden gezeigt wird.<br />

Wie aus den Untersuchungen an den polykristall<strong>in</strong>en <strong>Gold</strong>leiterbahnen bekannt ist,<br />

kommt es bei den <strong>in</strong>-situ Experimenten zu Kohlenstoffkontam<strong>in</strong>ationen. Abb. 6.5 zeigt

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