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Bearbeiten der Kanten Die Kanten der Wafer werden abgerundet, damit später kein Material absplittern kann Runde Kanten sind auch wichtig, damit die Wulst des Photolacks beim Aufschleudern klein bleibt.Digitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 11
Schleifen, Ätzen und Polieren Wafer werden mechanisch (grob) geschliffen ('lapping') Die Oberfläche wird geätzt, um die mechanisch verletzte Oberflächenschicht zu entfernen Die Kanten werden dann waferweise poliert (damit bei den späteren Prozess-Schritten z.B. kein Lackhängenbleibt) Das Polieren erfolgt unter gleichzeitigem Ätzen (z.B. mit verdünnter Flußsäure) bis die Oberflächeatomar plan ist.Digitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 12
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Seite 41 und 42: fertige n-WanneDigitale Schaltungst
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Externe Applets zur Abfolge der Pro
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Dual-Damascene Vereint die zwei Dam
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In naher Zukunft: Strained Silicon
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