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Erweiterungen in modernenTechnologienDigitale Schaltungstechnik 2006 - TechnologieP. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 80
Isolation der Transistoren Das LOCOS kann zu Spannungen im Si führen und muß bei hoher Temperatur durchgeführt werden. Eine schonendere Methode ist die Shallow Trench Isolation (STI):Vereinfacht gesagt werden hierzu lokal Gräben (trenches) ins Silizium geätzt und mit HDP (High DensityPlasma) SiO 2gefüllt. Vorteil der STI ist eine 'flachere' Gateregion, so daß die Lithographie kurzer Gates besser funktioniert Bei Silicon-On-Insulator (SOI) oder Silicon On Saphire (SOS) werden die Gräben 'tief' bis zu einerisolierenden Unterlage geätzt.Oft ist das Substrat SIMOX. Vorteile der vollständigen Isolation vonMOS/ MOS Gruppen:- Kein Leckstrom zwischen Transistoren- Kein Substrateffekt- Kapazitäten der Wanne u.U. kleinerIBMDigitale Schaltungstechnik 2006 - TechnologieP. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 81
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Technologie - Vom Silizium zum Chip
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Herstellung reinen Siliziums- Siliz
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Kristallwachstum - Float Zone (FZ)
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Fräsen und Sägen Die Ingots werde
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Seite 21 und 22: Lithographie: Belichter / StepperSp
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Seite 57 und 58: Aluminium: ÄtzenDigitale Schaltung
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