Herstellungs-Technologie
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Kristallwachstum – Float Zone (FZ) Fertiger Si-Stab wird mit Ringheizer lokal geschmolzen (Induktionsofen) Der Kristall wird langsam nach unten gezogen und rekristallisiert hinter der Heizzone. Verunreinigungen verbleiben zum Großteil in der Schmelze und werden so 'ausgespült'.+ Bessere Reinheit, weniger Mikro-Defekte.– Teurer, da Primärer 'Rod' benötigt wirdDigitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 7