Herstellungs-Technologie
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Diffusion Direktes Einbringen von Fremdatomen (950-1200 0 C, Diffusion um so stärker, je höher die Temperatur) Oder 'Drive-In'Verbreiterung von implantierten Profilen:'Predeposition' an der Oberfläche mitniedriger Energie mit genau bekannter DosisDiffusionsrate hängt von Ionen und vonder Temperatur ab.Digitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 45