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Ionenimplantation Schwere Ionen werden im Festkörper durch sukzessive Abgabe ihrer kinetischen Energie gestoppt Die meisten Ionen bleiben in einer 'festen' Tiefe stecken Die Tiefe hängt vom Substratmaterial und der Ionenart und insbesondere von deren Energie abWechselwirkung des Ions mitdem Kristallgitter⇒ Schädigung des Gitters !⇒ Annealing nötigMaximale Dosisin dieser TiefeDigitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 39
Ionenimplantation Tiefenverteilung der Dosis für Bor (Z=5) und Phosphor (Z=15) als Funktion der Ionenenergiehttp://www.leb.e-technik.uni-erlangen.de/lehre/mm/html/start.htmDigitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 40
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Seite 49 und 50: p + -Implantation: Implantation / D
Seite 51 und 52: n + -Implantation: Implantation/Dif
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Seite 57 und 58: Aluminium: ÄtzenDigitale Schaltung
Seite 59 und 60: Externe Applets zur Abfolge der Pro
Seite 61 und 62: Isolation der Transistoren Das LOCO
Seite 63 und 64: Dual-Damascene Vereint die zwei Dam
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