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Ionenimplantation Schwere Ionen werden im Festkörper durch sukzessive Abgabe ihrer kinetischen Energie gestoppt Die meisten Ionen bleiben in einer 'festen' Tiefe stecken Die Tiefe hängt vom Substratmaterial und der Ionenart und insbesondere von deren Energie abWechselwirkung des Ions mitdem Kristallgitter⇒ Schädigung des Gitters !⇒ Annealing nötigMaximale Dosisin dieser TiefeDigitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 39
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