Herstellungs-Technologie
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Lithographie: Prinzip Wichtiger Schritt zur Festlegung der Struktur• Trocknen ('dehydration bake')• 'Adhesion Promotor' aufbringen1. Wafer mit Materialschicht 2. Beschichtung mit Lack,Trocknen• Lack aufbringen ('Spin-On')• Vortrocknen ('Soft-Bake')• Alignieren• Belichten ('Exposure')3. Belichtung durch Maske 4. Entwickeln und Ablösendes belichteten Lacks• Trocknen ('Post-Bake')• Entwickeln ('develop')• Trocknen (Hard-Bake')• Prozeßschritt• Entfernen des Lacks ('ashing')5. Ätzen des Materials 6. Entfernen des LacksDigitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 23