Herstellungs-Technologie
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Polykristalines Silizium (kurz: 'Poly') Beim schnellen Aufwachsen bilden sich nur kleine Regionen mit dem 'richtigen' Kristallgitter Die einzelnen Regionen sind zufällig orientiert Dieses 'Poly'-(Silizium) ist ein wichtiges Material in den untersten Chip-Schichten (Gates!) Poly-Si wird meist dotiert um dem Widerstand zu reduzierten (RC-Zeitkonstanten!)amorph poly-kristallin EinkristallDigitale Schaltungstechnik 2006 - <strong>Technologie</strong>P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 19