Werksnorm 0003/MUC Reinheitsstufen - Rofin

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufen1 HistorieVersion Gültig ab Verfasser Änderung_ 12.10.2005 Axel Reiser Erstausgabea 01.08.2008 A.Reiser/G.Bems/N.Maurer Erweiterung der Klassen; Übersicht Reinräumeb 15.01.2010 Norbert Maurer Änderung nicht zulässiger Verunreinigung in RS0, RS1.1 und RS1.2c 21.01.2010 Norbert Maurer Änderungen bzgl. Lieferantenpflichten (Pkt. 6: Kennzeichnung)d 10.04.2010 Norbert Maurer OHNE VERÖFFENTLICHUNG!e 01.11.2010 Norbert Maurer2 AllgemeinReinheitsangabe zum Zeitpunkt des Einbaus; RS1.3 neu hinzu;Änderungen bzgl. Punkte 5 & 6Die ordnungsgemäße Funktion von Lasern ist unter anderem von der „Sauberkeit“ ihrer Bestandteilebeeinflusst. Die vorliegende Werksnorm beschreibt die technischen Anforderungen des Aspekts„Sauberkeit“. Sie legt für Bauteile, Baugruppen und/oder Ersatzteile diesbezüglich bestehendeErfordernisse fest und beschreibt, nach sogenannten „Reinheitsstufen“ differenziert, den Sollzustandder Bestandteile zum Ereigniszeitpunkt des Einbaus in das System "Laser". Abhängigkeitenzwischen Reinheit bei Anlieferung/Beschaffung und Verwendung („Einbau“) werden erläutert.Anforderungen über die zum Zeitpunkt der Anlieferung/Beschaffung herrschende Reinheit könnenabgeleitet werden (siehe Punkt 5).Ergänzend wird hier auf die Werksnorm 0004/MUC (Verpackungsklassen) verwiesen.3 GeltungsbereichDiese Werksnorm zielt hauptsächlich auf optische, mechanische, elektrische oder daraus kombiniertzusammengesetzten Baugruppen und/oder Einzelteile, die unmittelbar an der Entstehung undFührung bzw. Verteilung („Propagation“) von Laserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen beteiligtsind. Die „Verunreinigung“ dieser, typischerweise in Montage- und Prüffeldbereichen sowie durchSERVICE von ROFIN-SINAR Laser GmbH Bereich Markieren (RSL-MUC) verwendeten Elementehätte negative physikalische Auswirkungen auf die Funktion des Systems „Laser“ zur Folge.Periphere Funktionsbaugruppen (d.h. ohne Strahlkontakt oder –nähe sowie außerhalb zentralerLaserfunktion) sind von den speziellen Abgrenzungen dieser WERKSNORM (sog. Stufen RS0bis RS3) explizit ausgenommen, müssen jedoch allgemeinen, industrietypischenAnforderungen entsprechen. Dieser Sachverhalt drückt sich durch Einstufung dieser Produkteals Kategorie RS99 aus (siehe Pos. 4 "Definition der Reinheitsstufen" und Anhang "ÜbersichtReinheitsstufen").4 Definition der ReinheitsstufenReinheitsstufe RS0 (engl.: Cleanliness Level RS0):RS0 (Einbau-Reinheitsstufe = Beschaffungs-Reinheitsstufe) gilt für‣ sämtliche optische Komponenten eines Lasers (Einzelteile und/oder optische Baugruppen).Beispiele: Linsen, Achromate, Spiegel, Filter (opt.), LW-Fasern, etc.Seite: 1 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenDiese müssen von nachfolgend beispielhaft genannten Verunreinigungen frei sein, die sich von denunter PRÜFUNG aufgeführten Methoden nachweisen lassen:‣ Staub‣ Späne, Abrieb, lose Partikel jedweden Ursprungs‣ Öl, Fett, Kühlschmiermittel‣ Wasser oder andere Flüssigkeiten‣ Galvanikrückstände‣ Wasch- und Spülrückstände‣ Rückstände von Verpackung/Verpackungshilfsmitteln‣ Korrosion‣ Zunder‣ Flussmittel‣ Sonstige fremdstoffl. Bestandteile oder Anhaftungen (z.B. Aufkleber - soweit nicht pertechnischer Vorgabe [Zeichnung, Produktspezifikation, u.ä.] ausdrücklich definiert)und dürfen keine NICHT-materialspezifischen Gerüche aufweisen.Die Oberfläche muss für Material und Bearbeitungsart typisch sein. Als Verpackungsform istausschließlich die Einzelstückverpackung zulässig.Prüfung: Berührungslose, optische Prüfung mit Durch- oder Auflicht, ggf. unterVergrößerungPrüfraum: Reinraumklasse 6 nach ISO 14644-1 (entspricht „Class 1.000“ FS209E; sieheAnhang)Reinheitsstufe RS1.1 (engl.: Cleanliness Gradation RS1.1):RS1.1 (Einbau-Reinheitsstufe) gilt für Bauteile und Baugruppen, die durch ihren‣ Einsatz in mittelbarer oder unmittelbarer Nähe von Laserstrahlung < 1064 nm (typisch 532,355 nm) und/oder als‣ Bestandteil von umkapselten, diese Wellenlänge (typisch 532, 355 nm) erzeugenden oderführenden optischen Elementen Anwendung finden oder‣ Kontakt zu - für die Strahlerzeugung (typisch 532, 355 nm) benötigten - flüssigen odergasförmigen Medienbesonderen Anforderungen in Bezug auf ihre Sauberkeit unterworfen sind. MATERIAL derReinheitsstufe RS1.1 wird als RS2 beschafft und durch RSL-MUC Maßnahmen in den Zustand RS 1.1überführt. Der Einsatz von MATERIAL der Reinheitsstufe RS1.1 in Umgebung gem. Definition RS1.2ist technisch zulässig (nicht jedoch umgekehrt). MATERIALIEN mit dualer Verwendung (d.h. sowohlWellenlänge < 1064 nm und =/> 1064 nm) sind mit der qualitativ geringeren Reinheitsstufe RS1.2 zukennzeichnen. Vor dem Einsatz in Umgebung < 1064 nm werden sie durch RSL-MUC perProzessplanung in den Zustand RS1.1 übergeführt.Beispiele: Bauteile der Strahlerzeugung, -führung, -umhausung (z.B. Resonatorgehäuse,Modenblenden etc.) der Produktfamilie POWER LINE E [< 1064 nm]Seite: 2 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenDiese müssen von nachfolgend beispielhaft genannten Verunreinigungen frei sein, die sich von denunter PRÜFUNG aufgeführten Methoden nachweisen lassen:‣ Staub‣ Späne, Abrieb, lose Partikel jedweden Ursprungs‣ Öl, Fett, Kühlschmiermittel‣ Wasser oder andere Flüssigkeiten‣ Galvanikrückstände‣ Wasch- und Spülrückstände‣ Rückstände von Verpackung/Verpackungshilfsmitteln‣ Korrosion‣ Zunder‣ Flussmittel‣ Strahlmittelrückstände‣ Sonstige fremdstoffl. Bestandteile oder Anhaftungen (z.B. Aufkleber - soweit nicht pertechnischer Vorgabe [Zeichnung, Produktspezifikation, u.ä.] ausdrücklich definiert)und dürfen keine NICHT-materialspezifischen Gerüche aufweisen.Die Oberfläche muss für Material und Bearbeitungsart typisch sein. Erlaubt sind Verfärbungen durchWärmebehandlung. Als Verpackungsform ist ausschließlich die Einzelstückverpackung zulässig.Prüfung: Wischtest mit weißem, abriebfestem Papier oder nicht fusselndeReinigungsstäbchen, plus Sichtkontrolle (ggf. unter Vergrößerung)Prüfraum: staubarme UmgebungReinheitsstufe RS1.2 (engl.: Cleanliness Gradation RS1.2):RS1.2 (Einbau-Reinheitsstufe) gilt für Bauteile und Baugruppen, die durch ihren‣ Einsatz in mittelbarer oder unmittelbarer Nähe von Laserstrahlung (typisch 1064 nm odergrößer) und/oder als‣ Bestandteil von umkapselten, diese Wellenlänge (typisch 1064 nm oder größer) erzeugendenoder führenden optischen Elementen Anwendung finden oder‣ Kontakt zu - für die Strahlerzeugung (typisch 1064 nm oder größer) benötigten - flüssigenoder gasförmigen Medienbesonderen Anforderungen in Bezug auf ihre Sauberkeit unterworfen sind. MATERIAL derReinheitsstufe RS1.2 wird als RS2 beschafft und durch RSL-MUC Maßnahmen in den Zustand RS 1.2überführt. Der Einsatz von MATERIAL der Reinheitsstufe RS1.2 in Umgebung gem. Definition RS1.1ist technisch NICHT zulässig (jedoch umgekehrt). MATERIALIEN mit dualer Verwendung (d.h. sowohlWellenlänge < 1064 nm und =/> 1064 nm) sind mit der qualitativ geringeren Reinheitsstufe RS1.2 zukennzeichnen. Vor dem Einsatz in Umgebung < 1064 nm werden sie durch RSL-MUC perProzessplanung in den Zustand RS1.1 übergeführt.Beispiele: Bauteile der Strahlerzeugung, -führung, (z.B. Pumpkammern, Modenblenden,Shutter, Galvoflansche, etc.) der Produktfamilien POWER LINE D, POWER LINE Q/CW, POWERLINE C, POWER LINE F [=/> 1064 nm], POWER LINE E [1064 nm]Seite: 3 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenDiese müssen von nachfolgend beispielhaft genannten Verunreinigungen frei sein, die sich von denunter PRÜFUNG aufgeführten Methoden nachweisen lassen:‣ Staub‣ Späne‣ Öl, Fett, Kühlschmiermittel‣ Wasser oder andere Flüssigkeiten‣ Galvanikrückstände‣ Wasch- und Spülrückstände‣ Rückstände von Verpackung/Verpackungshilfsmitteln (z.B. in Form von Abrieb)‣ Korrosion‣ Zunder‣ Flussmittel‣ Strahlmittelrückstände‣ Sonstige fremdstoffl. Bestandteile oder Anhaftungen (z.B. Aufkleber - soweit nicht pertechnischer Vorgabe [Zeichnung, Produktspezifikation, u.ä.] ausdrücklich definiert)Die Oberfläche muss für Material und Bearbeitungsart typisch sein. Erlaubt sind Verfärbungen durchWärmebehandlung. Als Verpackungsformen sind wahlweise Einzelstück-Verpackungen und/oderMehrstück-Verpackungen zulässig.Prüfung: Wischtest mit weißem, abriebfestem Papier oder nicht fusselndeReinigungsstäbchen, plus Sichtkontrolle (ggf. unter Vergrößerung)Prüfraum: staubarme UmgebungReinheitsstufe RS1.3 (engl.: Cleanliness Gradation RS1.3):RS1.3 ist sowohl Einbau- als auch Beschaffungs-Reinheitsstufe und entspricht technisch undinhaltlich der Reinheitsstufe RS1.2, differenziert jedoch bzgl. des Anspruchs auf „Prozessführerschaft“(Prozesssicherheit, Prozesskompetenz, Prozessverantwortung), indem Maßnahmen zum Erreichenvon RS1.2 ausschließlich RSL-MUC intern erfolgen MÜSSEN und Maßnahmen zum Erreichen vonRS1.3 durch qualifizierte Lieferanten erfolgen KÖNNEN.Die Reinheitsstufe RS1.3 ist ausnahmslos qualifizierten Lieferanten vorbehalten und gestattet es,Komponenten mit geforderter Einbau-Reinheitsstufe RS1.2 ohne zusätzliche RS-MUC interneMaßnahmen durch RS-MUC zu verbauen.Eine geforderte Reinheitsstufe RS1.2 kann bei nicht qualifizierten Lieferanten über die Beschaffungs-Reinheitsstufe RS2 und nachfolgender interner Maßnahme durch RS-MUC erreicht werden. DerEinbauzustand RS1.2 kann bei Einhaltung der hiermit dargelegten Voraussetzungen durchLOGISTIK/AV auf RS1.3 abgeändert werden. Der damit festgelegte Beschaffungszustand RS1.3 istgleichzeitig auch Einbauzustand RS1.3 (und technisch RS1.2 gleichwertig).Seite: 4 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenReinheitsstufe RS2 (engl.: Cleanliness Gradation RS2):RS2 (Beschaffungs-Reinheitsstufe und/oder Einbau-Reinheitsstufe) und gilt für‣ Bauteile und Baugruppen ohne unmittelbare Strahlnähe oder unmittelbaren Strahlkontaktbzw.‣ Bauteile und Baugruppen die durch zusätzliche Reinigungsmaßnahmen in denReinheitszustand RS1.1 oder RS1.2 überführt werden und sich damit für eineanspruchsvollere Verwendung qualifizieren.Beispiele: Bauteile untergeordneter bzw. peripherer Funktion ohne Nähe zu Laserstrahlung(Schiene/Reiter Komponenten, Gehäuse, etc.) der Produktfamilien POWER LINE D, POWERLINE Q/CW, POWER LINE C, POWER LINE F [=/> 1064 nm], POWER LINE E [1064 nm]Diese müssen von nachfolgend beispielhaft genannten Verunreinigungen frei sein, die sich von denunter PRÜFUNG aufgeführten Methoden nachweisen lassen:‣ Staub (hartnäckig anhaftend, d.h. nicht durch Abblasen oder alternat. mechan. Maßnahmenentfernbar)‣ Späne und sonstige grobe Verschmutzungen bzw. Herstellungsrückstände,‣ Öl, Fett, Kühlschmiermittel‣ Galvanikrückstände‣ Rückstände von Verpackung/Verpackungshilfsmitteln (z.B. in Form von Abrieb)‣ Korrosion‣ FlussmittelDie Oberfläche muss für Material und Bearbeitungsart typisch sein. Erlaubt sind Verfärbungen durchWärmebehandlung, sowie Staub, der sich jedoch vor/bei Einbau/Verwendung durch Abblasen oderalternative mechanische Reinigungsmaßnahmen leicht entfernen lässt.Seite: 5 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenAls Verpackungsformen sind sowohl die Einzelstück-Verpackung als auch die Mehrstück-Verpackungzulässig.Prüfung:Sichtkontrolle (wahlweise mit und/oder ohne Vergrößerung)Reinheitsstufe RS3 (engl.: Cleanliness Gradation RS3):RS3 (Beschaffungs-Reinheitsstufe) gilt für‣ Bauteile und Baugruppen vor jedweder ReinigungDiese Reinheitsklasse ist als Anlieferzustand nur für defekte Teile oder Sonderteile außerhalb desnormalen Produktionsbedarfs (z.B. Musterteile) zulässig.Prüfung:SichtkontrolleNachfolgende Reinheitsstufe ist NICHT Bestandteil dieser Werksnorm und wird lediglich zumbesseren Verständnis dargelegt (siehe Anhang "Übersicht Reinheitsstufen"):Reinheitsstufe RS99 (engl.: Cleanliness Gradation RS99):Reinheitsstufe 99 (Einbau-Reinheitsstufe = Beschaffungs-Reinheitsstufe) gilt für‣ periphere Funktionsbaugruppen und Einzelteile ohne Strahlkontakt oder -nähe undaußerhalb zentraler Laserfunktion. Reinheit entspr. allg. ind.-typischen Anforderungen.Beispiele: Güteschalter- (Q-Switch)- Treiber, Diodennetzteile, Wärmetauscher, Versorgungseinschübe,Verkabelungen, Schutzschläuche, E-Schränke & Gehäuse, Handlings & sonstigeMaschinenausrüstung, Automatisierungstechnik, Steuerungen, etc.5 Allgemeine FestlegungenDie Vorgaben zum Reinheitszustand werden von KONSTRUKTION und/oder ENTWICKLUNG imSAP-Materialstamm hinterlegt und beschreiben den zum Zeitpunkt der Verwendung (=Einbauin Laser) geforderten Reinheitsstufe.Vorgesehene Beschaffungs- bzw. Anlieferzustände:RS0, RS1.3, RS2, RS3 und RS99Material der Reinheitsstufen RS1.1 und/oder RS1.2 werden generell im Zustand RS2 beschafftund durch geeignete Reinigungsprozesse von RSL-MUC veredelt.RS1.3 ist eine Beschaffungs-Reinheitsstufe (jedoch gleichzeitig auch Einbau-Reinheitsstufe)und besonders qualifizierten Lieferanten vorbehalten (entspricht technisch der Einbau-Reinheitsstufe RS1.2).Bei nicht expliziter Nennung einer Reinheitsstufe gilt für alle in diese Werksnormeingeschlossenen Bauteile und Baugruppen die Beschaffungsvorgabe RS2.Ggf. vorhandene Angaben auf technischen Dokumenten (Zeichnungen, Materialspezifikationen, etc.)haben im Fall inkonsistenter Angaben zu den Vorgaben der Bestellung geringerer Bedeutung (sieheauch ersten Absatz der Pkt. 6).Seite: 6 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenExistieren unterschiedliche Methoden zum Erzielen gleicher Reinheitsstufen, so sind diese, soweitnicht von RSL-MUC anderslautend festgelegt oder beschrieben (z.B. durch entsprechendeAngaben innerhalb vorhandener Produktdokumentationen wie Zeichnungen, Stammdatenblätter, o.ä.)prinzipiell als gleichwertig einzustufen und zur Anwendung zugelassen. Im Fall von Unklarheit odereindeutigem Widerspruch liegt es in der Verantwortung des Lieferanten frühzeitig mit RSL-MUCKlarheit herbeizuführen. Mündliche Abreden hierzu sind unzulässig!6 Pflichten des LieferantenDer Lieferant hat die, gemäß Bestellung beschriebene Reinheitsstufe (als Inhalt vonBestelltext) auszuführen. Im Falle widersprüchlicher (inkonsistenter) Vorgaben gilt die Angabeim Bestelltext als die für die Ausführung verbindliche Definition.Die gewählte Verpackung muss in der Lage sein, die zur Beschaffung festgelegten Reinheitsstufewährend der Dauer des Transports und der anschließenden Lagerung zu konservieren. Ggf. überdiese Werksnorm hinausgehende Anforderungen an Verpackungen (Schutz gegen mechanischeBeschädigung, Temperatur, Licht, etc.) sind in WERKSNORM WN 0004/MUC („Verpackungsklassen“)behandelt.Im Falle technischer Fragen bzgl. zulässiger Reinigungsmethoden zur Erfüllung der Reinheitsstufenwird auf die Verfahrensanweisung VA-09-02-046 – Reinigung mechanischer Teile (auf Anfrage beiRSL-MUC erhältlich) sowie auf mitgeltende, produktspezifische Dokumente (Zeichnungen,Spezifikationen, etc.) verwiesen.7 Pflichten des VerwendersVor dem Einbau/der Verwendung von unter diese Norm fallenden Produkten entscheidet der für denEinbau oder die Verwendung Verantwortliche über die Konformität mit bestehenden Reinheitsklasse -Angaben. Dabei ggf. festgestellte Abweichungen zieht die Festlegung erneuter Reinigungsprozessenach sich.Anhang:• Übersicht REINRAUMKLASSEN• Übersicht REINHEITSKLASSENVerteiler: Lieferanten, LAGER, LOGISTIK, EINKAUF, KONSTRUKTION, ENTWICKLUNG, SERVICESeite: 7 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenAnhang ÜBERSICHT REINRAUMKLASSENInternational Standards for Cleanrooms and Critical EnvironmentsInternational Cleanroom Standards:ISO/TC209 has proposed ten (10) documents which will make up the cleanroom standards.These documents are in their final voting stages and can be legally used in trade. The tablesand sections below outline the first seven of these documents in order.ISO-14644-1 Classification of Air CleanlinessCleanliness class designations and quantity have changed from FS209E (see Table 1). Alongwith the obvious change to metric measure of air volume, ISO 14644-1 adds three additionalclasses.(Table 1) Airborne Particulate Cleanliness ClassesClassISO1ISO2ISO3ISO4ISO5ISO6ISO7ISO8ISO9Number of Particles per Cubic Meter by Micrometer Size0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5 um 1 um 5 um10 2100 24 10 41,000 237 102 35 810,000 2,370 1,020 352 83100,000 23,700 10,200 3,520 832 291,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293352,000 83,200 2,9303,520,000 832,000 29,30035,200,000 8,320,000 293,000Seite: 8 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenAnhang ÜBERSICHT REINRAUMKLASSEN(Table 2) Comparing FED STD 209E to ISO 14644-1.ISO 14644-1FED STD 209EAirborne ParticulateCleanliness ClassComparison123 1 M1.54 10 M2.55 100 M3.56 1,000 M4.57 10,000 M5.58 100,000 M6.59Seite: 9 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e

Werksnorm 0003/MUCReinheitsstufenAnhang ÜBERSICHT REINHEITSSTUFENSeite: 10 von 10WN-Nr. WN 0003 MUCGültig ab: 01.11.2010Änderungsstand:e