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微米纳米技术研究中心2007 年年报 - 中北大学

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11 月 16 日 , 由 我 中 心 牵 头 的 国 家 “973” 项 目 “ 纳 机 电 XX 基 础 研 究 ” ( 子 )专 题 年 度 验 收 会 在 我 中 心 召 开 , 验 收 专 家 在 听 取 了 专 题 负 责 人 的 工 作 汇 报 后 ,参 观 了 测 试 成 果 并 现 场 测 试 。 我 中 心 刘 俊 教 授 , 熊 继 军 教 授 承 担 的 ( 子 ) 专 题顺 利 通 过 验 收 。11 月 17 日 , 由 我 中 心 与 西 安 交 通 大 学 共 同 承 担 的 国 家 自 然 科 学 基 金 重 点 项目 “ 微 型 机 械 电 子 系 统 (MEMS) 测 试 计 量 技 术 与 理 论 研 究 ” 进 行 中 期 检 查 , 国家 自 然 科 学 基 金 委 员 会 的 有 关 领 导 出 席 了 本 次 会 议 。11 月 21 日 , 我 中 心 承 担 的 863 项 目 “ 面 向 安 全 监 测 与 跟 踪 的 网 络 化 微 系 统 ”子 课 题 通 过 中 期 检 查 。12 月 1 日 , 由 我 中 心 设 立 “ 微 纳 之 星 ” 奖 学 金 第 四 届 奖 学 金 颁 奖 典 礼 圆 满 闭 幕 ,中 心 主 任 张 文 栋 教 授 , 中 心 成 员 薛 晨 阳 副 教 授 、 刘 文 怡 副 教 授 出 席 了 本 次 典 礼 。12 月 29 日 , 我 中 心 熊 继 军 、 薛 晨 阳 、 张 文 栋 等 任 负 责 的 《 基 于 拉 曼 光 谱 的圆 片 级 微 结 构 应 力 测 试 方 法 与 设 备 》 获 得 2007 年 山 西 省 科 学 技 术 三 等 奖 。二 、 年 度 工 作 进 展1、MEMS 重 点 项 目 “ 面 向 安 全 的 监 测 与 跟 踪 网 络 化 微 系 统 ” 子 项 目 “ 危 化 品检 测 传 感 器 性 能 测 试 平 台 与 可 靠 性 评 估 技 术 ”, 负 责 人 ( 张 文 栋 熊 继 军 )本 项 目 针 对 危 化 品 安 全 监 测 的 特 殊 要 求 和 特 点 , 研 究 相 关 的 测 试 和 可 靠 性 评 估方 法 , 研 究 MEMS 传 感 器 失 效 模 式 及 响 应 分 析 , 提 出 提 高 可 靠 性 的 措 施 和 寿 命 评估 、 故 障 诊 断 及 维 护 等 方 法 , 制 订 MEMS 传 感 器 性 能 检 测 的 规 范 和 高 效 的 自 动 测试 流 程 。2007 年 度 建 立 加 速 度 传 感 器 、 压 力 传 感 器 、 液 位 传 感 器 、 倾 角 传 感 器的 器 件 性 能 测 试 平 台 , 对 项 目 组 提 供 微 机 械 加 速 度 传 感 器 、 压 力 传 感 器 进 行 了动 静 态 性 能 测 试 , 建 立 了 可 靠 性 实 验 平 台 , 对 压 力 传 感 器 进 行 了 部 分 可 靠 性 测3


试 , 同 时 对 MEMS 传 感 器 的 失 效 模 式 进 行 了 初 步 探 索 。 发 表 论 文 2 篇 , 培 养 硕 士 生2 名 。2、 国 家 自 然 基 金 面 上 项 目 “ 高 灵 敏 度 多 层 纳 米 膜 遂 穿 微 陀 螺 仪 研 究 ”( 负 责 人 :刘 俊 )本 项 目 采 用 双 势 垒 ( 或 多 势 垒 ) 结 构 多 层 纳 米 薄 膜 作 为 压 敏 材 料 , 研 究 以外 延 薄 膜 生 长 技 术 与 腐 蚀 、 刻 蚀 结 构 加 工 技 术 相 结 合 的 工 艺 加 工 方 法 , 实 现 MEMS工 艺 与 纳 米 多 层 薄 膜 的 工 艺 结 合 ; 通 过 对 共 振 遂 穿 效 应 微 陀 螺 仪 的 结 构 设 计 、仿 真 与 加 工 , 突 破 多 层 纳 米 薄 膜 共 振 遂 穿 压 敏 电 阻 的 生 长 技 术 、 微 弱 信 号 检 测等 关 键 技 术 , 研 制 出 基 于 共 振 遂 穿 压 阻 效 应 的 微 陀 螺 仪 , 实 现 共 振 遂 穿 效 应 传感 器 的 高 灵 敏 度 与 陀 螺 哥 氏 效 应 的 原 理 相 结 合 。 目 前 , 在 相 关 项 目 的 支 持 下 ,多 层 纳 米 膜 ( 超 晶 格 材 料 ) 的 力 电 耦 合 效 应 的 研 究 正 在 进 行 , 设 计 了 基 于 正 交梁 的 微 机 械 陀 螺 仪 结 构 。 培 养 博 士 生 1 名 , 硕 士 生 2 名 。3、 自 然 基 金 面 上 项 目 : 纳 米 尺 度 的 超 晶 格 半 导 体 薄 膜 中 力 电 耦 合 效 应 的 试验 研 究 ( 负 责 人 : 薛 晨 阳 )纳 机 电 系 统 (NEMS) 是 微 机 电 系 统 (MEMS) 的 延 伸 和 必 然 发 展 趋 势 。 理 论研 究 发 现 , 超 晶 格 薄 膜 在 应 力 场 作 用 下 也 可 以 产 生 或 影 响 共 振 隧 穿 , 其 原 理 可用 于 力 电 转 换 。 本 课 题 的 实 验 研 究 就 是 针 对 由 半 导 体 超 晶 格 薄 膜 材 料 构 成 的 典型 微 纳 米 结 构 , 观 测 和 研 究 力 学 信 号 影 响 或 引 起 超 晶 格 材 料 的 量 子 隧 穿 电 流 信号 变 化 , 并 对 由 超 晶 格 薄 膜 采 用 空 气 桥 工 艺 和 控 制 孔 工 艺 加 工 出 来 的 微 腔 , 桥 ,梁 等 力 电 耦 合 敏 感 结 构 进 行 了 材 料 特 性 实 验 、 静 态 压 力 测 试 、 动 态 特 性 测 试 ,验 证 了 基 于 超 晶 格 材 料 的 微 纳 机 电 系 统 的 可 行 性 。 此 外 , 还 开 发 出 了 GaAs 基 纳机 电 器 件 结 构 加 工 的 成 套 工 艺 , 为 超 晶 格 材 料 在 微 纳 机 电 系 统 的 广 泛 应 用 提 供基 本 实 验 数 据 和 原 型 样 机 。 正 在 申 请 国 家 发 明 专 利 3 项 , 在 核 心 期 刊 上 发 表 论4


文 21 篇 , 其 中 SCI 收 录 5 篇 ,EI 收 录 16 篇 , 培 养 博 士 生 1 名 , 硕 士 生 3 名 。三 、 合 作 与 交 流● 来 访3 月 22 日 , 在 校 领 导 的 陪 同 下 , 国 防 科 工 委 的 领 导 参 观 了 我 中 心 , 重 点 实 验室 副 主 任 薛 晨 阳 博 士 进 行 了 讲 解 。 首 先 , 薛 博 士 对 我 中 心 的 研 究 方 向 和 特 色 及近 年 来 所 取 得 的 部 分 成 果 进 行 了 介 绍 , 接 着 , 领 导 们 参 观 了 重 点 实 验 室 的 部 分实 验 设 备 , 包 括 厚 膜 集 成 系 统 , 振 动 台 及 洁 净 室 。5 月 19 日 -25 日 , 山 西 省 动 态 测 试 技 术 重 点 实 验 室 举 办 公 众 开 放 周 活 动 , 我中 心 成 员 薛 晨 阳 , 刘 文 怡 , 马 喜 宏 , 李 杰 , 石 云 波 等 在 本 次 活 动 中 作 了 相 关 的学 术 报 告 和 实 验 平 台 演 示 。6 月 13 日 下 午 , 兵 装 集 团 总 经 理 徐 斌 、 副 总 经 理 尹 家 绪 和 太 原 市 市 委 书 记 申维 辰 等 领 导 在 张 文 栋 校 长 和 其 他 副 书 记 副 校 长 的 陪 同 下 , 参 观 了 我 中 心 , 并 亲切 慰 问 了 前 任 校 长 祖 静 教 授 。 他 们 在 听 取 我 中 心 归 国 博 士 薛 晨 阳 汇 报 的 同 时 ,对 我 中 心 的 科 研 工 作 给 予 了 热 情 指 导 和 肯 定 。6 月 21 日 , 美 国 科 罗 拉 多 州 立 大 学 吴 明 忠 博 士 来 我 中 心 参 观 。 吴 明 忠 博 士 参观 了 我 中 心 一 层 中 心 洁 净 室 。8 月 4 日 , 中 印 第 二 届 微 米 纳 米 双 边 会 议 在 北 京 召 开 , 我 中 心 薛 晨 阳 博 士 在会 上 做 了 “MEMS and NEMS Research in NUC” 的 学 术 报 告 。9 月 3 日 , 中 国 宇 航 学 会 深 空 探 测 技 术 专 业 委 员 会 第 四 届 学 术 年 会 在 山 西 太原 召 开 , 我 中 心 张 文 栋 教 授 做 了 “ 微 米 纳 米 技 术 在 深 空 探 测 中 的 应 用 ” 的 特 邀报 告 。10 月 5 日 , 在 校 领 导 的 陪 同 下 , 教 育 部 副 部 长 赵 心 平 一 行 参 观 了 我 中 心 。 由5


薛 晨 阳 博 士 讲 解 了 我 中 心 近 年 来 取 得 的 研 究 成 果 。10 月 31 日 , 西 南 科 技 大 学 李 众 立 副 校 长 等 一 行 二 人 来 我 中 心 参 观 。 陪 同 参观 的 有 我 校 副 校 长 刘 有 智 、 教 务 处 处 长 潘 晋 孝 、 化 工 与 环 境 工 程 学 院 党 总 支 书记 李 运 芝 。11 月 6 日 , 山 西 省 直 属 工 委 书 记 刘 巩 来 我 中 心 参 观 。 陪 同 参 观 的 有 我 校 党 委书 记 师 谦 、 校 长 张 文 栋 、 宣 传 部 部 长 薛 实 军 、 校 办 副 主 任 秦 华 伟 、 党 办 副 主 任孟 建 新 。11 月 16 日 , 西 安 西 安 交 通 大 学 副 校 长 蒋 庄 德 教 授 做 了 题 为 《 微 纳 制 造 技 术发 展 现 状 、 趋 势 及 展 望 》 的 报 告 。12 月 4 日 , 在 校 领 导 的 陪 同 下 , 山 西 省 委 办 公 厅 金 道 铭 书 记 一 行 参 观 了 我 中心 , 张 斌 珍 博 士 介 绍 了 我 中 心 的 概 况 和 近 年 来 取 得 的 主 要 成 绩 。12 月 2 日 , 受 我 中 心 邀 请 , 南 京 理 工 大 学 教 授 章 维 一 老 师 来 到 中 北 大 学 , 做了 《 微 流 体 数 字 化 与 物 质 数 字 化 的 创 新 求 索 》 的 学 术 报 告 。12 月 28 日 , 国 家 基 金 委 信 息 部 四 处 何 杰 处 长 来 我 中 心 参 观 。● 出 访7 月 29 日 , 根 据 《2007 年 国 家 留 学 基 金 资 助 出 国 留 学 人 员 选 拔 简 章 》, 经 专家 评 审 , 我 中 心 熊 继 军 教 授 被 录 取 为 2007 年 国 家 留 学 基 金 资 助 出 国 留 学 人 员 ,将 在 美 国 做 为 期 一 年 的 访 问 学 者 。11 月 6 日 , 根 据 山 西 省 留 学 人 员 管 理 委 员 办 公 室 下 达 的 通 知 ,2007 年 省 筹 资金 资 助 出 国 留 学 人 员 录 取 名 单 近 日 揭 晓 , 中 北 大 学 三 名 教 师 被 录 取 , 我 中 心 张文 栋 教 授 将 赴 美 国 做 三 个 月 的 高 访 研 究 。11 月 19 日 , 经 过 自 愿 报 名 及 笔 试 和 口 试 等 程 序 , 中 北 大 学 从 在 读 研 究 生 中遴 选 出 七 名 交 流 生 候 选 人 , 并 推 荐 给 韩 国 成 均 馆 大 学 。 成 均 馆 大 学 在 综 合 韩 国6


中 北 大 学 “ 第 二 届 挑 战 杯 大 学 生 课 外 学 术 作 品 大 赛 ”:王 玲 郭 虎 岗 高 健 飞 林 小 波 孟 美 玉 , 一 等 奖中 北 大 学 研 究 生 院 科 技 立 项 : 李 正 岱 , 三 等 奖3、 博 士 研 究 生 毕 业 (1 人 )5 月 20 日 , 任 勇 峰 ( 导 师 : 张 文 栋 ) 通 过 博 士 论 文 答 辩 。4 硕 士 研 究 生 毕 业 (37 人 )罗 源 源 杨 林 森 王 伟 陆 芳 余 靖 娜李 旭 闫 晓 艳 王 建秦 海 涛 高 磊 毛 海 央 郑 丽 娜刘 国 营 文 丰 张 学 松 祁 晓 瑾周 治 良 张 益 刘 彦 昌 戴 金 州徐 文 强 王 晓 丽 许 辉 徐 夏赵 柱 谢 斌 刘 鑫 刘 亚 丹王 玲 武 占 军 徐 栋 朴 现 磊马 志 刚 张 涛 陈 茜 王 建 新王 昊 宇5 在 站 博 士 后 (4 人 )2004 年 : 薛 晨 阳 ( 合 作 导 师 : 张 文 栋 )2006 年 : 李 锦 明 ( 合 作 导 师 : 陈 大 融 )李 杰 ( 合 作 导 师 : 张 文 栋 );2007 年 : 闫 树 斌 ( 合 作 导 师 : 叶 雄 英 );6 在 读 博 士 (10 人 )2002 年 : 任 一 峰 ( 导 师 : 张 文 栋 )2003 年 : 李 博 ( 导 师 : 张 文 栋 )2004 年 : 甄 国 涌 ( 导 师 : 张 文 栋 )丁 爱 玲 ( 导 师 : 张 文 栋 )2005 年 : 魏 天 杰 ( 导 师 : 张 文 栋 ) 刘 文 怡 ( 导 师 : 刘 俊 )2006 年 : 吴 越 ( 导 师 : 张 文 栋 ) 李 孟 委 ( 导 师 : 刘 俊 )9


孔 祥 雷 任 晓 力 战 丰 丰 任 小 红 郭 静 崔 中 华杨 吉 姜 国 庆王 超 尹 志 勇 赵 慧 芳 宋 彦 锋 马 将 张 超 常 建 军 荆 彦 锋于 君 刘 广 泉 王 敏 涛 夏 烈 芳 高 鹏 岳 元 任 荣七 、 成 果2007 年 , 我 中 心 共 发 表 论 文 179 篇 , 其 中 SCI 论 文 6 篇 ,EI 论 文 20 篇 。 详 见下 表 ( 代 表 性 论 著 见 附 件 )。第 一 作 者 单 位 非 第 一 作 者 总 数SCI 6 0 6EI 19 1 20其 他 152 0 152总 计 177 1 1782007 年 发 表 论 文 目 录 :SCI 论 文 :1、 Wendong Zhang, Chenyang Xue, Piezoresistive effects of resonant tunneling structure forapplication in micro-sensors,Indian Journal of Pure & Applied Physics, Vol.45 April 2007p294-298.2、 Wendong Zhang, Lujiang Chen, Jijun Xiong, Ultro-high g deceleration-time measurement forthe penetration into steel target, Inernational Journal of Impact Engineering, 436-447.3、 Yongfeng Ren, Wenqiang Xu, Chenyang, Xue, A method for measuring bending stresses basedon electromagnetic actuation and Raman spectroscopy, Journal of Raman Spectroscopy,250-253.4、 Chenyang Xue, Lina Zheng, Wendong Zhang, A dynamic stress analyzer formicroelectromechanical systems(MEMS) based on Raman spectroscopy, Journal of RamanSpectroscopy, 467-471.5、 Jian Wang, Wendong Zhang, Chenyang Xue, Pressure effects in AlAs/InxGa1-xAs/GaAsresonant tunnelling diodes for application in micromachined sensors, 中 国 物 理 .11


Vol.29,No.5,p530-532.13、 马 宗 敏 石 云 波 孟 美 玉 等 ,Design and dynamic analysis of single-axis integrated inertiameasurement device, 仪 器 仪 表 学 报 ,Vol.28,No.9 p1558-1563.14、 毛 海 央 熊 继 军 张 文 栋 等 , 压 阻 式 微 加 速 度 计 动 态 特 性 与 阻 尼 的 关 系 研 究 , 仪 器 仪 表 学报 , Vol.28,No.9 p1594-1599.15、Shengbo Sang, Chenyang Xue, Wendong Zhang, Raman investigation of stress for shallowtrench, Diffus Defect Data Pt A Diffus Forum.16、 仝 召 民 薛 晨 阳 张 斌 珍 等 , 基 于 GaAs/AlAs 腐 蚀 自 停 止 的 新 型 水 听 器 工 艺 , 纳 米 技 术 与精 密 工 程 , Vol.5, No.3,p230-234.17、 王 昊 宇 刘 俊 石 云 波 等 , 基 于 自 适 应 枪 弹 的 高 过 载 压 电 驱 动 器 设 计 , 压 电 与 声 光 ,Vol.29,No.5, p553-555.18、 魏 天 杰 张 斌 珍 薛 晨 阳 等 , 基 于 共 振 隧 穿 结 构 的 压 力 传 感 器 稳 定 性 研 究 , 华 中 科 技 大 学学 报 , Vol.35 Sup. I,p74-76.19、 谢 斌 薛 晨 阳 张 文 栋 等 , 双 势 垒 量 子 阱 薄 膜 压 阻 效 应 实 验 研 究 , 固 体 电 子 学 研 究 与 进展 , Vol.27,No.3,p290-294.20、 谢 斌 薛 晨 阳 张 文 栋 等 , 双 势 垒 量 子 阱 薄 膜 力 电 耦 合 特 性 实 验 , 半 导 体 学 报 ,Vol.28,No.8, p1211-1215.取 得 专 利 :1、 单 片 双 惯 性 参 数 加 速 度 计 陀 螺 仪 , 刘 俊 张 文 栋 熊 继 军 任 勇 峰 李 锦 明 石 云 波 唐 军 祁晓 瑾 , 发 明 专 利 , 专 利 号 :ZL 2006 2 0024080.5。申 请 专 利 :1、 基 于 单 质 量 块 的 单 轴 集 成 惯 性 测 量 器 件 , 刘 俊 石 云 波 张 文 栋 马 宗 敏 崔 永 俊 薛 晨 阳 杨玉 华 , 申 请 号 :200710061740.6。2、 无 陀 螺 加 速 度 计 阵 列 安 装 误 差 的 矢 量 修 正 方 法 , 秦 丽 张 文 栋 熊 继 军 刘 俊 余 靖 娜 李 杰孟 令 军 张 会 新 , 申 请 号 :200710062038.1。3、 三 轴 压 阻 微 加 速 度 计 , 张 文 栋 ; 石 云 波 ; 刘 俊 ; 崔 永 俊 ; 杨 玉 华 ; 孟 美 玉 , 申 请 号 :200710061738.9。4、 复 合 梁 压 阻 加 速 度 计 , 刘 俊 石 云 波 崔 永 俊 李 孟 委 杨 玉 华 孟 美 玉 , 申 请 号 :200710061739.3。13


5、 捷 联 式 惯 导 测 量 组 合 中 加 速 度 计 装 配 误 差 标 量 修 正 方 法 , 秦 丽 余 靖 娜 张 文 栋 熊 继 军 刘俊 李 杰 孟 令 军 张 会 新 , 申 请 号 :200710062037.7。6、 复 合 式 微 加 速 度 计 , 熊 继 军 ; 郭 涛 ; 张 文 栋 ; 刘 俊 ; 马 游 春 ; 张 斌 珍 ; 李 丽 华 ; 毛 海 央 ; 翟 成瑞 , 申 请 号 :200710061572。7、 电 调 谐 谐 振 式 差 频 加 速 度 计 , 李 锦 明 ; 郭 慧 芳 ; 张 文 栋 ; 刘 俊 ; 周 兆 英 ; 杨 兴 , 申 请 号 :200710062298.9。奖 励 :1、 基 于 拉 曼 光 谱 的 圆 片 级 微 结 构 应 力 测 试 方 法 与 设 备 , 熊 继 军 薛 晨 阳 张 文 栋 张 斌 珍 王 红亮 翟 成 瑞 孟 令 军 杨 卫 李 杰 苏 淑 靖 , 山 西 省 科 学 技 术 三 等 奖 。2、MEMS 加 工 平 台 能 力 评 价 标 准 与 评 估 方 法 , 张 文 栋 刘 俊 石 云 波 秦 丽 任 勇 峰 甄 国 涌 李 锦明 郭 涛 马 喜 宏 刘 文 怡 , 山 西 省 高 等 学 校 科 学 技 术 奖 一 等 奖 。八 、 简 讯第 七 届 测 试 技 术 研 讨 会 成 功 召 开第 七 届 国 际 测 试 技 术 研 讨 会 于 2007 年 8 月 5—8 日 在 中 国 北 京 召 开 , 来 自国 内 外 测 试 界 的 领 导 、 专 家 学 者 和 科 技 工 作 者 110 余 人 参 加 了 会 议 。 本 次 研 讨会 共 收 到 来 自 印 度 、 德 国 、 希 腊 、 美 国 、 韩 国 、 法 国 以 及 中 国 高 等 院 校 、 研 究所 、 部 队 、 航 天 、 电 子 等 国 防 科 技 部 门 科 技 工 作 者 的 论 文 2956 篇 , 经 过 专 家 的认 真 筛 选 , 收 入 本 次 会 议 论 文 集 的 文 章 共 有 1748 篇 。在 会 上 , 中 北 大 学 副 校 长 、 本 次 会 议 的 技 术 主 席 韩 焱 教 授 致 了 开 幕 词 , 兵工 学 会 秘 书 长 王 智 忠 、 高 等 教 育 学 会 秘 书 长 张 晋 峰 和 挂 靠 单 位 领 导 中 北 大 学 副校 长 萧 忠 良 教 授 都 分 别 作 了 讲 话 , 对 学 会 的 工 作 和 今 后 的 发 展 提 出 了 宝 贵 的 建议 。本 次 会 议 , 有 7 位 专 家 作 了 大 会 报 告 , 他 们 分 别 是 清 华 大 学 周 兆 英 教 授 ,法 国 高 等 师 范 大 学 的 陈 勇 教 授 , 印 度 国 家 物 理 实 验 室 的 Vikram Kumar 博 士 , 哈14


尔 滨 工 业 大 学 的 孙 立 宁 教 授 , 韩 国 成 均 馆 大 学 的 Samuel Chang 教 授 , 清 华 大 学的 尤 政 教 授 , 德 国 PTB 的 Gaoliang Dai 博 士 。另 外 有 68 篇 论 文 参 与 了 分 组 交 流 , 代 表 们 按 照 文 章 的 主 题 分 成 四 个 讨 论 小组 , 交 流 了 在 本 领 域 的 新 成 果 。 本 次 会 议 是 一 次 充 满 学 术 气 氛 , 成 果 显 著 的 会议 , 得 到 与 会 代 表 和 专 家 的 一 致 好 评 。中 国 宇 航 学 会 深 空 探 测 技 术 专 业 委 员 会 第 四 届 学 术 年 会由 中 国 宇 航 学 会 深 空 探 测 技 术 专 业 委 员 会 主 办 , 中 国 人 民 解 放 军 太 原 卫 星发 射 基 地 与 我 中 心 共 同 承 办 的 中 国 宇 航 学 会 深 空 探 测 技 术 专 业 委 员 会 第 四 届 学术 年 会 在 山 西 太 原 成 功 召 开 。 山 西 省 政 协 边 鸣 涛 副 主 席 , 国 防 科 工 委 科 技 质 量司 吴 伟 仁 司 长 , 北 京 航 空 航 天 大 学 姚 骏 恩 院 士 等 德 高 望 重 的 领 导 、 专 家 出 席 了本 次 会 议 。15


本 次 会 议 自 2007 年 初 开 始 筹 办 , 共 发 出 两 轮 征 文 通 知 , 截 至 到 2007 年 7月 底 , 共 收 到 文 章 62 篇 , 其 中 59 篇 被 接 收 , 编 入 《 测 试 技 术 学 报 》 增 刊 。16

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