AxioVision: Kalottenschliffmessung - Carl Zeiss

Mikroskopie von Carl Zeiss^ééäáÅ~íáçåë^ñáçsáëáçå=h~äçííÉåëÅÜäáÑÑãÉëëìåÖ=pÅÜáÅÜíÇáÅâÉåãÉëëìåÖ=h~äçííÉåëÅÜäáÑÑíÉÅÜåáâ=Zur Erhöhung der Haltbarkeit und zumSchutz vor Verschleiß werden Werkzeugeund Maschinenbauteile mit spezifischenMaterialien beschichtet. MitHilfe unterschiedlicher Beschichtungsverfahrenwerden dazu eine oder mehrereSchichten mit einer Dicke voneinem bis mehreren Mikrometern aufden Werkstoff aufgetragen. Am Endedes Beschichtungsprozesses erfolgteine Qualitätskontrolle durch Messungder Schichtdicke, wie sie in der VorschriftDIN V ENV 1071 beschrieben ist.Zur Vorbereitung der Proben wird miteiner Stahlkugel definierten Durchmesserseine kalottenförmige Vertiefungin die Probe geschliffen. Einealkoholisch gelöste Diamantensuspensionunterstützt dabei durch Benetzungder Kugel den Schleifvorgang. =Die Eindringtiefe der Kugel in die aufgetrageneSchicht und den Grundwerkstoffhängt vom Kugeldurchmesser ab.Bei einer Single Layer-Beschichtung entstehtals Ergebnis des Schleifvorgangs einMuster aus zwei konzentrischen Kreisen(bei ebenen Proben) oder Ellipsen (beinicht-ebenen Proben), welche derProbenoberfläche und der GrenzflächeSchicht/Substrat zugewiesen werdenkönnen. Die Proben werden anschließendeiner mikroskopischen Prüfung unterzogen,die normalerweise mit dem Objektiv10x erfolgt. Aus den Differenzen derKreis- bzw. Ellipsendurchmesser lässt sichdie Dicke der aufgetragenen Schichtbestimmen.• Flexible Vermessung vonbeschichteten Proben undgroßen Bauteilen• Automatische Berechnung derSchichtdicke dünner Schichten• Einfache Erstellung einesBerichtesWe make it visible.

h~äçííÉåëÅÜäáÑÑãÉëëìåÖ=bêïÉáíÉêíÉ=^ñáçsáëáçå=cìåâíáçå~äáí®í=Das Modul Kalottenschliffmessung istals Applikation direkt in AxioVisioneingebunden und erweitert damit dieFunktionalität um die Bestimmung derSchichtdicke nach der Kalottenschlifftechnik.Eine Benutzerführung, die durcheinen Assistenten unterstützt wird, führtder Anwender Schritt für Schritt durchden Messablauf: von der Bildaufnahmeüber das Einzeichnen der Messkreise,der automatischen Berechnung derSchichtdicke bis zur Präsentation derDaten in Bild und Bericht.mêçÄÉåáÇÉåíáÑáâ~íáçå=ìåÇ=_áäÇ~ìÑå~ÜãÉ=Für eine eindeutige Probenkennzeichnungstellt der Assistent im ModulKalottenschliffmessung flexible Möglichkeitender Probendateneingabe zurVerfügung. Aus einer Liste vorgegebenerSchichttypen lässt sich die gewünschteSchicht auswählen. Diese Liste kanndurch Eingabe eines neuen Schichtnamensum beliebig viele weitereSchichttypen erweitert werden. DieGrundlage für eine korrekte Messungbildet eine mit einem Objektmikrometererstellte Skalierung. Diese kann zumeinen direkt erstellt und zum anderenaus einer Liste bereits vorhandenerSkalierungen selektiert werden.Außerdem ist sowohl die direkte Aufnahmeder Kalottenschliffproben miteiner Kamera als auch das Laden bereitsaufgenommener Bilder von einemSpeichermedium möglich.jÉëëìåÖ=ìåÇ=^ìëïÉêíìåÖ=Zur Markierung der für eine Kalottenschliffprobetypischen konzentrischenKreise stehen flexible Messwerkzeuge zurVerfügung.Da die Proben meistens, bedingt durchSchleifspuren und andere Artefakte, eineinhomogene Oberflächenbeschaffenheitaufweisen, erweist sich eine interaktiveMessung als besonderer Vorteil. Nebendem Aufziehen eines Kreises, beginnendvom äußeren Rand, ist auch eine Kreisrekonstruktiondurch Anklicken von beliebigvielen Punkten auf dem Kreisrandmöglich. Die exakte Positionierung desKreises wird durch eine frei beweglicheLupe unterstützt. Es lassen sich nicht nurkreisförmige, sondern auch ellipsenförmigeEindrücke, die bei zylinderförmigenBauteilen auftreten, vermessen.Für Multilayer-Proben, die durch mehrerekonzentrische Kreise gekennzeichnet sind,werden aus den eingezeichneten Kreisensowohl die Einzelschichtdicken als auchdie Gesamtschichtdicke ermittelt.Die Probendaten werden zusammen mitden Messergebnissen als farbige Annotationendem Kalottenschliffbild überlagert.Die Farbe und die Schriftgröße dieserAnnotationen können individuell angepasstwerden.Alle angezeigten Daten werden sowohl imBild als auch in einer Datei gespeichert. Eskann automatisch ein Bericht erstelltwerden, der Bild, Messergebnisse undProbeninformationen beinhaltet. DerBericht wird als Vorschau dargestellt undkann als Prüfprotokoll ausgedrucktwerden.póëíÉãâçåÑáÖìê~íáçå=• Auflichtmikroskop Axiotech vario mit Objektiven10x, 20x• AxioCam MRc5 Digitalkamera• Bildanalyse Mini Workstation mit 512 MB DDR-RAM, FireWire IEEE 1394 / USB 2.0 PCI-Karte• AxioVision Software• AxioVision Modul: Kalottenschliffmessung• Alternative Systemkonfiguration möglichCarl Zeiss Postfach 4041Lichtmikroskopie37030 GöttingenTelefon: 05 51 5060 660Telefax: 05 51 5060 464E-Mail: mikro@zeiss.dewww.zeiss.de/48-0056 04.2005