(MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium
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28 2 Grundlagen<br />
�� Massentransport (Entrance)<br />
Der Transport des Precursorgases (vom Reaktoreingang) zur Abscheidezone. Dieser<br />
Schritt unterliegt einer Gleichgewichtssituation bestimmt durch den Trägergasfluss<br />
und die Precursorzufuhr [170]. Er wird auch als Massentransport der ers<strong>ten</strong> Art<br />
bezeichnet.<br />
�� Gasphasenreaktion<br />
Reaktionen (‚Cracking’ der Liganden oder Lösungsmittelkomplexe,<br />
��<br />
Wechselwirkung der Precursoren), die zur Bildung von Komplexen und<br />
Nebenproduk<strong>ten</strong> in der Gasphase über <strong>dem</strong> Substrat führen.<br />
Diffusion zur Substratoberfläche<br />
Massentransport der Precursormoleküle zur beheiz<strong>ten</strong> Substratoberfläche.<br />
�� Adsorption auf der Substratoberfläche<br />
Adsorption der Moleküle <strong>aus</strong> der Gasphase auf das Substrat oder den wachsenden<br />
Film. Man unterscheidet zwischen Adsorbat (reaktive Gas-/Dampfmoleküle) und<br />
Adsorbent (Festkörper des Substrates/Films). Die Adsorption kann physikalisch<br />
oder chemisch erfolgen:<br />
(a) Physisorption: Bei der physikalischen Adsorption kommt es nicht zu einem<br />
elektronischen Ladungstransfer. Die Bindung beruht alleine auf van der Waals-<br />
und/oder elektrostatischen Kräf<strong>ten</strong>. Die Größe der Bindungskräfte ist hierbei<br />
um einiges kleiner als bei der Chemisorption.<br />
(b) Chemisorption: Es findet ein Elektronentransfer zwischen Adsorbent und<br />
Adsorbat statt. Die Kräfte rühren dann von den entsprechenden chemischen<br />
Bindungen her. Die kontrollierte Chemisorption ist die Basis für die ALD-<br />
Methode 12 , die für das Wachstum ultradünner Schich<strong>ten</strong> optimierte<br />
Vor<strong>aus</strong>setzungen bietet.<br />
�� Oberflächenreaktion<br />
Zersetzung der metall-organischen Precursoren bzw. Komplexe direkt auf der<br />
heißen Substratoberfläche.<br />
�� Oberflächendiffusion<br />
Diffusion adsorbierter Atome auf der Film-/Substratoberfläche. Monomere können<br />
idealisiert auf <strong>dem</strong> Substrat diffundieren und nach Kollision zu Keimen<br />
zusammenwachsen oder sich an bereits vorhandene Keime oder Stufen angliedern.<br />
12 ALD: Atomic Layer Deposition
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