(MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium
(MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium (MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium
Symbole, Abkürzungen und Konstanten Lateinische Großbuchstaben A Symbol der Summenformel ABO 3 B Symbol der Summenformel ABO 3 stellvertretend für alle chemischen Elemente, die sich in der kristallinen Perovskitphase an ihrem stöchiometrisch korrekten Platz befinden C Curie-Konstante D Diffusionskoeffizient Da Damköhlerzahl ��� E Betrag des elektrischen Feldstärkevektors F Feature Size (minimale strukturierbare Größe in einer RAM-Zelle) G Gibbs’sche freie Energiedichte Gr Grashofzahl �H 0 b ( �� 25�C) Standardbildungsenthalpie bei 25 °C (1013 mbar) I � Elektrische Stromstärke; Intensität (Zählrate, Röntgenanalytik) � J Partikelstromdichte-Vektor, Flussdichte einer Partikelströmung JDrift � Partikelstromdichte-Vektor hervorgerufen durch äußere Kräfte Jk Partikelstromdichte-Vektor, Flussdichte der Partikelströmung k K Gleichgewichtskonstante Kn Knudsenzahl L Charakteristische Dimension eines Vakuumrezipienten N i* Konzentration kritischer Cluster P Polarisation, allgemein Pr Remanente Polarisation (Ferroelektrikum) Spontane Polarisation (Einkristall); Sättigungspolarisation (Polykristall) Ps Psat Sättigungspolarisation (ferroelektrische Hysterese) Q Güte, abgestrahlte Energie eines Körpers Ra Rayleighzahl Re Reynoldszahl Rx, Ra,Rs Realer elektrischer Widerstand: unbekannt, Innenwiderstand, Shunt S Saugvermögen (Vakuumpumpe) T0 Curie-Weiss-Temperatur (Paraelektrikum) T Absolute Temperatur [K] Curiepunkt (Phasenübergangstemperatur vom paraelektrischen in den Tc ferroelektrischen Zustand) Periodendauer (gepulste Injektion) Tinj T s Substrat-Temperatur während des Wachstums Elektrische Spannung: allgemein; Messspannung; Gleichspannungs- U, Um, Ubias überlagerung V Volumen X Imaginärer Widerstand einer unbekannten Impedanz; Reaktanz
vi Symbole, Abkürzungen und Konstanten Lateinische Kleinbuchstaben a konstanter Vorfaktor c Partikelkonzentration [cm -3 ], Stoffmengenkonzentration in einer Lösung [mol/l] cP Molare Wärmekapazität [J/(K*mol)] dhkl Netzebenenabstand eines Kristalls dFilm Schichtdicke [nm] i * (Kritische) Zahl an Atomen eines Nukleations-Clusters j Einheit auf der imaginären Achse (komplexe Gaussebene) l Länge [m] m Masse [kg, g] n Brechungsindex, Brechzahl p Druck eines Gases; Druck, allgemein [mbar] pD Dampfdruck qV , q Volumenstrom eines Gases [m3s-1 ] r Wachstumsrate r Mittlere lineare Dimension eines Nukleations-Clusters r * Kritischer Radius eines Nukleations-Clusters t0 spezieller Zeitpunkt [s, min] tinj Injektionsdauer v Geschwindigkeit, allgemein [m/s] v � Mittlere Geschwindigkeit aller am Fluss beteiligten Partikel (Vektor) v Mittlere Geschwindigkeit aller am Fluss beteiligten Partikel (Vektorbetrag) x Ortskoordinate y Ortskoordinate Griechische Großbuchstaben �� Bedeckung eines Substrates (Angabe in Monolagen) � Temperaturabweichung von einer mittleren Temperatur T (� = T - T ) � Einfallswinkel (Röntgenbeugungsanalyse) Griechische Kleinbuchstaben � Thermischer Ausdehnungskoeffizient �i Einfangrate eines Monomers unter Berücksichtigung der Bildung kritischer Nuklei � Verlustfaktor (Angabe dielektrischer Verluste in realen Isolatoren) � Dicke der Geschwindigkeitsgrenzschicht, Diffusionsgrenzschicht � Emissionsfaktor eines Strahlungskörpers �r Relative dielektrische Konstante; Dielektrizitätszahl, Permittivität � Viskosität [kg/(m*s)] � Mittlere freie Weglänge, Wellenlänge (EM-Strahlung) [nm, mm, m] � Th � Thermische Leitfähigkeit [W/(m*K)] Chemisches Potenzial [J/mol] �� Stoffmenge in Mol [mol], kinematische Viskosität [m²/s]
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vi Symbole, Abkürzungen und Konstan<strong>ten</strong><br />
Lateinische Kleinbuchstaben<br />
a konstanter Vorfaktor<br />
c Partikelkonzentration [cm -3 ], Stoffmengenkonzentration in einer Lösung [mol/l]<br />
cP<br />
Molare Wärmekapazität [J/(K*mol)]<br />
dhkl<br />
Netzebenenabstand eines Kristalls<br />
dFilm Schichtdicke [nm]<br />
i * (Kritische) Zahl an Atomen eines Nukleations-Clusters<br />
j Einheit auf der imaginären Achse (komplexe G<strong>aus</strong>sebene)<br />
l Länge [m]<br />
m Masse [kg, g]<br />
n Brechungsindex, Brechzahl<br />
p Druck eines Gases; Druck, allgemein [mbar]<br />
pD<br />
Dampfdruck<br />
qV , q Volumenstrom eines Gases [m3s-1 ]<br />
r Wachstumsrate<br />
r Mittlere lineare Dimension eines Nukleations-Clusters<br />
r * Kritischer Radius eines Nukleations-Clusters<br />
t0<br />
spezieller Zeitpunkt [s, min]<br />
tinj<br />
Injektionsdauer<br />
v Geschwindigkeit, allgemein [m/s]<br />
v � Mittlere Geschwindigkeit aller am Fluss beteilig<strong>ten</strong> Partikel (Vektor)<br />
v<br />
Mittlere Geschwindigkeit aller am Fluss beteilig<strong>ten</strong> Partikel (Vektorbetrag)<br />
x Ortskoordinate<br />
y Ortskoordinate<br />
Griechische Großbuchstaben<br />
�� Bedeckung eines Substrates (Angabe in Monolagen)<br />
� Temperaturabweichung von einer mittleren Temperatur T (� = T - T )<br />
� Einfallswinkel (Röntgenbeugungsanalyse)<br />
Griechische Kleinbuchstaben<br />
� Thermischer Ausdehnungskoeffizient<br />
�i<br />
Einfangrate eines Monomers unter Berücksichtigung der Bildung kritischer<br />
Nuklei<br />
� Verlustfaktor (Angabe dielektrischer Verluste in realen Isolatoren)<br />
� Dicke der Geschwindigkeitsgrenzschicht, Diffusionsgrenzschicht<br />
� Emissionsfaktor eines Strahlungskörpers<br />
�r Relative dielektrische Konstante; Dielektrizitätszahl, Permittivität<br />
� Viskosität [kg/(m*s)]<br />
� Mittlere freie Weglänge, Wellenlänge (EM-Strahlung) [nm, mm, m]<br />
�<br />
Th<br />
�<br />
Thermische Leitfähigkeit [W/(m*K)]<br />
Chemisches Po<strong>ten</strong>zial [J/mol]<br />
�� Stoffmenge in Mol [mol], kinematische Viskosität [m²/s]
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