(MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium
(MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium (MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium
Inhalt iii 5.2.4 Single Cocktail...................................................................................................91 5.2.5 Molare Konzentration der Precursoren .............................................................91 5.3 Injektion.................................................................................................... 93 5.3.1 Öffnungszeit.......................................................................................................94 5.3.2 Frequenz............................................................................................................96 5.4 Verdampfung............................................................................................ 97 5.4.1 Optimierung der Verdampfertemperatur ...........................................................97 5.4.2 Einfluss des Trägergases..................................................................................98 5.5 Reaktorparameter.................................................................................... 99 5.5.1 Variation der Reaktortemperatur .......................................................................99 5.5.2 Variation der Oxidationsgase ......................................................................... 114 5.6 Vorbemerkung zur Prozessoptimierung.............................................. 119 5.7 Wachstumskontrolle .............................................................................. 120 5.8 Stöchiometriekontrolle .......................................................................... 124 6 Elektrische Charakterisierung und Diskussion.............129 6.1 Vorwort................................................................................................... 129 6.2 Dielektrische Charakterisierungsmethoden........................................ 129 6.2.1 Metallisierung ................................................................................................. 129 6.2.2 Permittivität und tan � ..................................................................................... 130 6.3 Messergebnisse ....................................................................................... 133 6.4 Diskussion ............................................................................................... 138
iv Inhalt 7 Schlussfolgerungen ........................................................143 7.1 Zusammenfassung ..................................................................................143 7.2 Ausblick...................................................................................................147 Anhang......................................................................................151 A Übersicht über Probendaten.................................................151 Literatur ....................................................................................155 Danksagung..............................................................................175
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iv Inhalt<br />
7 Schlussfolgerungen ........................................................143<br />
7.1 Zusammenfassung ..................................................................................143<br />
7.2 Ausblick...................................................................................................147<br />
Anhang......................................................................................151<br />
A Übersicht über Probenda<strong>ten</strong>.................................................151<br />
Literatur ....................................................................................155<br />
Danksagung..............................................................................175
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