(MOCVD) oxidischer Dönnschich ten aus dem Materialsystem Barium
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ii Inhalt<br />
3 <strong>MOCVD</strong>-Anlage und Prozessführung.............................51<br />
3.1 Versuchsanlage .........................................................................................52<br />
3.1.1 Liquid Delivery System und Verdampfer .......................................................... 52<br />
3.1.2 Reaktor- und Gasverteilungssystem................................................................. 59<br />
3.1.3 Vakuum- und Abgassystem.............................................................................. 63<br />
3.1.4 Technik- und Sicherheitsaspekte...................................................................... 67<br />
3.2 Prozessführung .........................................................................................69<br />
3.2.1 Substratmaterialien und –vorbereitung............................................................. 69<br />
3.2.2 Prozessablauf ................................................................................................... 70<br />
4 Analytische Methoden ......................................................79<br />
4.1 Röntgenfluoreszenzanalyse......................................................................79<br />
4.2 Röntgenbeugungsanalyse.........................................................................83<br />
4.3 Rasterkraftmikroskopie...........................................................................84<br />
4.4 Rasterelektronenmikroskopie .................................................................85<br />
4.5 Ergänzende spektroskopische Methoden...............................................85<br />
5 CVD-Prozess und Filmwachstum ....................................87<br />
5.1 Vorbemerkung zur Prozesssteuerung ....................................................87<br />
5.2 Metall-organische Quellen und Precursormischung.............................88<br />
5.2.1 Precursorchemie............................................................................................... 88<br />
5.2.2 Multi Source-Betrieb ......................................................................................... 89<br />
5.2.3 Hybridansatz..................................................................................................... 91