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SCHOTT AG Schott HiCotec<br />
17<br />
Das Konzept der Einzelplatzstation / „Mini-Batch“<br />
ist einfach zu erweitern<br />
Dielektrisches<br />
Fenster<br />
MW<br />
Brillenglas<br />
(CR 39)<br />
HMDSO<br />
TiCl 4<br />
O 2<br />
MW<br />
Pumpe<br />
PDF created with pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com<br />
mbar<br />
Vakuumtechnologie<br />
Mikrowellen Mikrowellen<br />
generator<br />
Prozess<br />
kontrolle<br />
Precursor &<br />
Gas<br />
Gas supply<br />
zuführung<br />
•Substrat wird im Reaktor platziert<br />
•Der Reaktor wird mit gasförmigen<br />
Precursoren durchströmt<br />
•Die Plasmazündung erfolgt durch Mikrowellenenergie<br />
•Aufspaltung des gasförmigen Precursors
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