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SCHOTT AG Schott HiCotec 14 Was ist PICVD ? Plasma Impulse Chemical Vapour Deposition •Temperaturkontrolle CVD •Beschichtung von komlexen 3D-Substraten PDF created with pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com Plasma PICVD • geringe Temperatur und niedrige Energie beschädigt den Kunststoff nicht MW •hohe Beschichtungsraten, hohe Performance
CVD SCHOTT AG Schott HiCotec 15 Anlagentechnologie der PICVD-Beschichtung mit Einzelplatzkonzept für einfache Mengen- Skalierung: Plasma PICVD MW Mikrowellen Substrat mbar Vacuumtechnologie Gas auslaß PDF created with pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com Gas einlaß Microwellen generator Prozeß- Kontrolle Precursor & Gasversorgung PICVD: Plasma Impulse CVD
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SCHOTT AG Schott HiCotec<br />
14<br />
Was ist <strong>PICVD</strong> ?<br />
Plasma Impulse Chemical Vapour Deposition<br />
•Temperaturkontrolle<br />
CVD<br />
•Beschichtung von komlexen 3D-Substraten<br />
PDF created with pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com<br />
Plasma<br />
<strong>PICVD</strong><br />
• geringe Temperatur und niedrige Energie beschädigt<br />
den Kunststoff nicht<br />
MW<br />
•hohe Beschichtungsraten, hohe Performance
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