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SCHOTT AG Schott HiCotec<br />
11<br />
Polymerartige und glasartige Schichten<br />
homogen oder als Gradient<br />
darstellbar durch die Verwendung von HMDSO<br />
PMMA<br />
Topcoat<br />
TiO2 SiO2 AS<br />
HV<br />
PDF created with pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com<br />
CH 3<br />
AR<br />
H3C Si O Si CH3 CH 3<br />
CH 3<br />
CH 3<br />
Cl<br />
HMDSO<br />
Cl<br />
Ti<br />
Cl<br />
Cl<br />
TiCl 4
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