Optimierung der elektrischen Eigenschaften von lateralen ...
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184 Notationsverzeichnis<br />
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NK Kanaldotierungskonzentration<br />
Nmax Maximalkonzentration<br />
ref<br />
N n<br />
Materialabhängige Dotierungskonstante für Elektronen<br />
N0 Fitdotierung<br />
ref<br />
N p<br />
Materialabhängige Dotierungskonstante für Löcher<br />
NS Substratkonzentration<br />
NV Effektive Zustandsdichte des Valenzbandes<br />
RESURF<br />
N� Optimale Dosis bei einer RESURF‐Struktur<br />
∆NA Kompensationsgrad bezüglich Akzeptoren<br />
∆ND Kompensationsgrad bezüglich Donatoren<br />
n Konzentration <strong>der</strong> frei beweglichen Elektronen<br />
ni Intrinsische Ladungsdichte des Eigenhalbleiters<br />
ni,eff<br />
n<br />
Effektive intrinsische Ladungsdichte<br />
� Normaleneinheitsvektor<br />
p Konzentration <strong>der</strong> frei beweglichen Löcher<br />
P Mittlere Verlustleistung<br />
Pn Absolute Thermoleistung für Elektronen<br />
Poff Mittlere Ausschaltverlustleistung<br />
Pon Mittlere Einschaltverlustleistung<br />
Pp Absolute Thermoleistung für Löcher<br />
PV<br />
Maximal zulässige Verlustleistung bzw. zulässige Impulsspitzen‐<br />
leistung<br />
Q Ladung<br />
Qf Restladung beim Diode‐Recovery‐Stress‐Test<br />
Qg Gate‐Ladung<br />
Qgd Miller‐Ladung<br />
Qgs Gate‐Source‐Ladung<br />
Qox Oxidladung<br />
Qrr Diffusionsladung, Sperrverzögerungsladung<br />
Qs Nachlaufladung<br />
rb Radius des gekrümmten pn‐Übergangs<br />
rkrit Kritischer Radius <strong>der</strong> gekrümmten Raumladungszone<br />
rm Lateraler Krümmungsradius<br />
r � Ortsvektor<br />
r � Ortsvektor des nächsten Punktes zur Si‐SiO2‐Grenzfläche<br />
i<br />
R Rekombinationsrate, Radius<br />
A<br />
R Auger‐Rekombinationsrate<br />
Rd Radiale Ausdehnung <strong>der</strong> Raumladungszone<br />
RDS Wi<strong>der</strong>stand <strong>der</strong> Drain‐Source‐Strecke<br />
RDS(on) Durchlass‐ bzw. Einschaltwi<strong>der</strong>stand<br />
RBE Basis‐Emitter‐Wi<strong>der</strong>stand<br />
RG Gatewi<strong>der</strong>stand<br />
Rkrit Radiale Ausdehnung <strong>der</strong> Raumladungszone beim Durchbruch
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