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Optimierung der elektrischen Eigenschaften von lateralen ...

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Kapitel 5 Dynamisches Verhalten <strong>von</strong> SJ‐LDMOS‐Transistoren 149<br />

_________________________________________________________________________________________________________________<br />

Abbildung 5.27: Löcherdichtenverteilung während des Sperrerholvorganges <strong>der</strong><br />

ungleichförmigen SJ mit ∆NA = 0%. Der Erholvorgang fängt bei t =<br />

0 ns an.

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